半导体作为信息产业的物质基础,很多科学家在不断追求提高半导体制造技术和工艺的同时,也渴望这些新技术能够以更快的速度转化为产品,造福我们全人类的生产和生活,这就要求电子半导体的制造商们能够高效率地利用有限的设备进行生产。不过集成电路半导体大部分是晶体硅,我们大家也知道硅其实是一种比较特殊的东西,它不溶于各种强酸和各种弱酸,就只能溶于氢氟酸,而这也就造成了一个现象:当人体吸入硅粉尘的时候,那就很容易就得了尘肺,而且怎么也治不好。
对于此,半导体芯片的生产真是有着非常繁杂的流程,而无尘则是此中非常关键的步骤。目前在一些高端高精密的洁净厂房,对悬浮于空气中的气态分子污染物的要求越来越严,很多企业都对自家的无尘车间采用了严格的防控措施,比如保证人净的措施、保证进入车间物料的净化、保证进入半导体集成电路车间内的空气是洁净的、保证净化空调系统的送风量、按要求保证洁净车间内的正静压值等有效防控措施。
这样的半导体车间,你喜欢了吗?
这些措施确实帮助企业有效保证了半导体车间的洁净度,不过无尘车间运行一段时间后,总免不了在一些死角、壁面、台面上会积存一些尘埃,而且半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物,当颗粒杂质、无机离子等各种物质的含量超过一定限度时,集成电路产品会出现表面划伤、针孔、脱皮等现象,导致电路泄漏和异常电气特性,轻则影响电路性能和使用寿命,重则导致电路报废。鉴于此,采用深圳赛纳威研发生产获得国家专利的多通道远程遥测激光尘埃粒子计数器及远程监控系统,可有效解决不能实时准确了解集成电路车间内尘埃粒子浓度的问题。
该仪器是深圳赛纳威经过多年的技术积累与创新,基于国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定研发生产的CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器,能够为半导体、柔性显示面板制造提供成熟可靠的7*24实时远程自动监测功能,解决这些行业面临的无尘车间粒子浓度监测的难题。而且CW-RPC系列粒子计数器可根据不同需要增加或减少控制终端,并能通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。尤其是这样的一台设备可以连续使用多年,真是可以为企业节省相当可观的开支,并且没有二次污染,亦解决了企业的头疼大事。
赛纳威CW-RPC系列远程粒子计数器
集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。
CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
你会不会以为半导体工厂内就是干净无比、一尘不染,并且只有少数几个人和大量的机器,然后这样的工厂怎么会对身体有害呢?其实半导体有点属于重污染企业,首先是半导体工厂内会有大量的酸性气体(这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程)。其次,由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,别的不说,苯就是高毒性的一级致癌物。
为了防止这些污染会伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括实时处理工作场所的空气、妥善处理生产废料等等。可以说污染处理的任何一个环节出现了问题,那么都有可能对员工的身体造成巨大的伤害,同样也有可能会对周围的环境造成巨大的污染。
总而言之,半导体生产行业是高污染行业,一定要严抓相关企业的污染治理,不然最后的结果就是无数的悲剧。近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业也在全球得到了飞速发展。在半导体制造业中,由于其昂贵设备的敏感性和制造过程的复杂性,工厂的布局变得不可以轻易更改,初始的不良布局结果会导致庞大的物料搬运成本、无效的生产以及重新布局时所需要的大量成本。
因此,工厂的设施规划已经成为半导体制造商们最关心的问题,在建厂初期他们就不得不对工厂进行谨慎详细的规划。这样,工厂投产以后整体生产系统才能发挥最大的生产效能。特别是迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高。所有半导体制程设备,都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是洁净室的来由。
洁净室的洁净等级,有一公认的标准,以Class 10为例,意谓在单位立方英寸的洁净室空间内,平均只有粒径0.5微米以上的粉尘10粒。所以Class后头数字越小,洁净度越佳,当然其造价也越昂贵。 同时这对于洁净室设备生产制造企业来说也是一个机遇,深圳赛纳威是一家专业从事环境检测仪器及环境监测治理系统开发和制造的高科技企业,拥有由留美博士、硕士和光机电及软件工程师组成的一流研发团队,其专业致力于洁净室建设技术与服务,始终将洁净室最终使用者的利益与体验放在首位,确保洁净空间的安全、舒适、节能和高效,为洁净室使用者创造真实而持久的价值,公司早期开发的净化车间专用尘埃粒子计数器系列产品和气体检测仪器系列产品已经在国内外市场上占据了较高的市场份额。
CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是智能多点净化检测系统的终端设备。为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级。根据不同需要增加或减少控制终端,可实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。
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