怎么测量半导体薄膜的电阻率

测量半导体电阻率的方法很多，按是否与样品接触可以分为两类，即接触式和非接触式。常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等。对于体单晶的电阻率测量，生产中应用最普遍的是四探针法；对于半导体晶片的电阻率测量，微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品，因而应用也越来越多。

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物体的表面电阻：电阻大于10的12次方欧姆为绝缘体。大于10的6次方小于10的11次方欧姆为防静电体。大于10的3次方小于10的5次方欧姆为导电体。测试仪器：具有三合一功能的表面电阻测试仪是最理想的仪器，无锡巨旺塑化材料有限公司销售的三合一型表面电阻测试仪就即能测产品表面的电阻，又能测产品的导电性能，还能测产品是否绝缘。详细说明：表面电阻测试仪是通过测量防静电产品表面的电阻，从而检测防静电产品的防静电能力。本仪器遵循ASTM标准D-257测试方法，测试时通过测试底部的两根平行铜电极快捷地测试物体表面的电阻，只需放置在需要测量的物体表面及按下红色按键，仪器上的10个指示灯10Ω-10Ω或绝缘LED灯将根据测试数值亮起。亮起的LED灯所指示数值即为被测物体的表面电阻。技术参数：MeasurementRange（测量范围）10-10Ω（10的3-12欧姆）RelativeHumidity（工作相对湿度）0-90%RHTestvoltage（测试电压）9VSize（外型尺寸）137×76×30mmWeight（重量）120g测试有10个指示灯，当测试仪贴在被测物表面并按下红色按扭后，相应的灯会亮起。3-5为导电性能，6-12为抗静电系数（表面电阻系数），另一个单独灯位是绝缘灯。

电子顺磁共振首先是由前苏联物理学家 E·K·扎沃伊斯基于1944年从MnCl2、CuCl2等顺磁性盐类发现的。物理学家最初用这种技术研究某些复杂原子的电子结构、晶体结构、偶极矩及分子结构等问题。以后化

电子顺磁共振波普仪

学家根据电子顺磁共振测量结果，阐明了复杂的有机化合物中的化学键和电子密度分布以及与反应机理有关的许多问题。美国的B·康芒纳等人于1954年首次将电子顺磁共振技术引入生物学的领域之中，他们在一些植物与动物材料中观察到有自由基存在。

电子自旋共振谱仪（ESR）是测定物质中未成对电子的电子自旋共振现象的仪器，用于所有含未成对电子样品的电子自旋共振特性相关研究。ESR通过测试样品中顺磁性信号的谱图，对顺磁性物质进行定性、定量测试，最终得到这些顺磁性物质的结构和物理化学性质。ESR对于样品测试具有高选择性，不破坏样品性，同时可以进行原位检测。在检测自由基、过渡金属等方面有非常好的应用。本实验室拥有的FA-200电子顺磁共振波谱仪，配备了光照、变温、低温（77K）、转角度、以及加标定量的测试，能对固体、气体、液体等样品测试。http://ic.big-bit.com/news/list-283.html

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