半导体行业芯片封装与测试的工艺流程

半导体行业芯片封装与测试的工艺流程,第1张

封装测试厂从来料(晶圆)开始,经过前道的晶圆表面贴膜(WTP)→晶圆背面研磨(GRD)→晶圆背面抛光(polish)→晶圆背面贴膜(W-M)→晶圆表面去膜(WDP)→晶圆烘烤(WBK)→晶圆切割(SAW)→切割后清洗(DWC)→晶圆切割后检查(PSI)→紫外线照射(U-V)→晶片粘结(DB)→银胶固化(CRG)→引线键合(WB)→引线键合后检查(PBI);在经过后道的塑封(MLD)→塑封后固化(PMC)→正印(PTP)→背印(BMK)→切筋(TRM)→电镀(SDP)→电镀后烘烤(APB)→切筋成型(T-F)→终测(FT1)→引脚检查(LSI)→最终目检(FVI)→最终质量控制(FQC)→烘烤去湿(UBK)→包装(P-K)→出货检查(OQC)→入库(W-H)等工序对芯片进行封装和测试,最终出货给客户

半导体封装制程设备主要有串联、串并结合以及并联模式,并联模式目前只有卓兴半导体在采用,也是他们率先实现的一种连线方式,这种方式比串联和串并结合都要好。纯并联模式下每台设备都是“单兵作战”,不会受某台设备宕机影响。而传统的串联或者串并结合的模式,一台设备宕机的话,其他设备都要停下来等待,这样很不利于产能的提升。综合来讲纯并联模式产线稼动率更高,这对设备又有更高的要求,单机要完成RGB固晶,保证一台设备完成整套固晶环节,目前只有卓兴半导体能做到这一点。


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