国产射频电源与进口射频电源的差别？半导体公司、太阳能公司有用国产的吗？

我是做半导体设备维修的，我说说个人接触到的情况，仅供参考。

1、目前半导体公司、太阳能公司设备没有见到国产的，学校的试验设备上有使用国产电源的。

2、射频电源和匹配器物料成本我算不准，射频电源贵重物料是开关电源及射频功率管，匹配器贵重物料是2个真空电容及2个电机，所有物料估计3万能搞定。

3、国外的射频电源基本上是烧坏了部件出现故障，国产的还要解决技术，杭州有所学校的汽车学院，设备上有使用国产电源，射频电源开到500W，匹配器老出故障，自动匹配器基本用不了，按手动匹配，真空计读数跳到200多、显示器显示不停的晃动。

4、国产电源在匹配器程序算法上应该要调试；硬件上，只有选用好的射频器件我觉得应该也是一样的。

5、国外的电源一般还行，目前行业内性价比高的600W还真的是SMITCH、AE.

北京研拓科技是COMDEL公司在中国的维修代理，我们就在那修过，我有他们的电话 010-58711816。找他们应该可以帮上你的忙！实在不行他们会帮你联系美国那边的公司帮你修的。把分给我吧！ 哈

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源，可以用来加热。

射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源，主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。

世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等；功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W；射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。

一套1KW的射频电源通过匹配器修改匹配角后的输出电压可以达到6KV，在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。

该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。

自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”，这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度。

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