1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

洁净厂房施工的难点：1、地面处理，如果地面基础不好，做完之后起壳（环氧），如果PVC的话，会起泡；2、当楼房层高不够的时候，隐蔽工程都是难点，比如风管安装、纯水管道，动力电缆。所以如果是租厂房建设洁净厂房时，建议租地面到梁的高度最小4m(洁净厂房的标准高度是2.8m)最起码要留出1m的技术夹层空间。如果洁净室的高度有要求的，洁净厂房地面到梁的高度就更高。

浇筑完毕，生产厂房全面进入主体施工收尾阶段。

华夫板浇筑完成，项目员工合影留念。

9月29日，随着最后一块华夫板浇筑完毕，该产业园最大单体M2B碳化硅芯片生产厂房全面进入主体施工收尾阶段，这也标志着公司在华夫板浇筑领域的首次施工圆满落下帷幕。

湖南三安半导体产业园项目为国内第一条、世界第三条碳化硅全产业链产线，项目产品为高质量、低成本、高稳定性的碳化硅衬底及各类器件，可广泛用于新能源 汽车 、5G、智能电网、高速轨道交通、半导体照明、消费类电子、航天等领域。

“M2B碳化硅芯片厂房是该项目一标段30个单体中建筑面积最大、洁净等级要求最高的厂房。”项目负责人周祥介绍，其按照“百级洁净度”标准建设，堪比最高洁净等级的手术室内部空气洁净标准。

由于此类工程在我国起步相对较晚，鲜有成熟的施工经验推广应用，依托中建五局三公司设计、采购、施工“一揽子”的全产业链总承包优势，采取分区域流水施工，并进行事先讨论、层层交底；事中控制、严格把关；事后审核、总结经验，严格执行工作面移交制度，根据现场施工效果不断改进施工方法，终于在9月29日顺利完成M2B芯片厂房最后一块华夫板的浇筑，为后续结构施工打下了良好基础。

项目相关负责人介绍，该项目建成达产后，将形成超100亿的产业规模，带动上下游配套产业产值预计超1000亿，创造近10000个就业岗位。凭借项目完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，将促成湖南、长沙成为全球碳化硅、氮化镓市场高地，达到化合物半导体领域的领先地位。

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