半导体行业用的VDB是什么设备

VDB（Valve Distributing Box），VMB（Valve Manifold Box） 的总箱,主管路到FAB内先接VDB,再分到各各VMB内，也会有些厂叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特别大的气体供应上。你可以理解为空调系统里的分集水器，也就是由总站出来的流体分流输送的装置。大致的供气路劲可以是总站——VDB——VMB——VMP（分盘）——设备用气点。简略回答如上，谢谢。

深圳的沃飞科技就不错，他们家的特气柜是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危害性气体供应和设计的特技控制柜，借助高科技配合触摸屏进行系统显示，和设定搭配不同的盘面设计，能够满足太阳能、半导体等行业的需求。其功能包括自动吹扫、自动切换、以及紧急情况下的自动安全切断，在保证安全的情况下实现人性化、智能化 *** 作。

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