需要测试半导体厚度，求推荐个好用的仪器？

楼主你可以了解下立仪科技的测厚仪，他们的设备在半导体硅片、锗、碳化硅、氮化镓、第三代半导体材料厚度，平面度，品圆翘曲，蚀刻深度、分割槽深度等领域有着非常不错的应用，而且测量数据精准可靠，仪器 *** 作也简单。

涂层厚度仪测厚方法有：

1、磁性测厚法。适用导磁材料上的非导磁层厚度测量。导磁材料一般为：钢\铁\银\镍。此种方法测量精度高。

2、涡流测厚法。适用导电金属上的非导电层厚度测量，此种方法较磁性测厚法精度低。

3、超声波测厚法。国内还没有用此种方法测量涂镀层厚度的，国外个别厂家有这样的仪器，适用多层涂镀层厚度的测量或则是以上两种方法都无法测量的场合.但一般价格昂贵、测量精度也不高。

4、电解测厚法。此方法有别于以上三种，不属于无损检测，需要破坏涂镀层，一般精度也不高，测量起来较其他几种麻烦。

5、放射测厚法。此种仪器价格非常昂贵（一般在10万RMB以上），适用于一些特殊场合。

上海志幸科学仪器有限公司是一家集检测设备研发、销售、修理、服务为一体的综合型的有限责任公司，公司主要经营和代理环境监测，无损检测，安全控制，实验设备，测绘仪器、光学仪器、量具量仪、分析仪器、水质分析、化学仪器。公司涂层厚度测量仪用于通用的涂层厚度测量和材料测试，具有彩色触摸屏、可进行个性化配置并带有各种设备接口。坚实且极为通用的台式多功能测量系统，具有保存数据和处理测量数据的功能，可连接多达八个测量探头。

薄膜在线测厚仪的测量原理有4种：射线技术，X射线技术，近红外技术和光学透过率技术　2.1 射线技术射线技术是最先应用于在线测厚技术上的射线技术，在上世纪60年代就已经广泛用于超薄薄膜的在线厚度测量了。它对于测量物没有要求，但传感器对温度和大气压的变化、以及薄膜上下波动敏感，设备对于辐射保护装置要求很高，而且信号源更换费用昂贵，Pm147源可用5-6年，Kr85源可用10年，更换费用均在6000美元左右。2.2 X射线技术这种技术极少为塑料薄膜生产线所采用。X光管寿命短，更换费用昂贵，一般可用2-3年，更换费用在5000美元左右，而且不适用于测量由多种元素构成的聚合物，信号源放射性强。X射线技术常用于钢板等单一元素的测量。2.3 近红外技术近红外技术在在线测厚领域的应用曾受到条纹干涉现象的影响，但现在近红外技术已经突破了条纹干涉现象对于超薄薄膜厚度测量的限制，完全可以进行多层薄膜总厚度的测量，并且由于红外技术自身的特点，还可以在测量复合薄膜总厚度的同时给出每一层材料的厚度。近红外技术可用于双向拉伸薄膜、流延膜和多层共挤薄膜，信 号源无放射性，设备维护难度相对较低。 　2.4光学涂层技术对于透光的材料，材料一定的情况下，透过率和测量的厚度成一一对应关系，所有通过测量材料的光学透过率（光密度）来达到测量材料厚度的目的，在卷绕式镀膜行业，如镀铝膜，各种包装膜，通过在线监测薄膜的透过率来在线监测生产的品质，已经是一种非常成熟的方案。如深圳市林上科技的LS152真空镀膜在线测厚仪就是利用光学透过率的原理来实现非接触式的在线测厚，该仪器支持RS485通讯接口和MODBUS通讯协议，可以与镀膜机上的PLC进行通讯实现闭环控制。

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