1、工业净化车间的建筑围护界区和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。 净化车间内墙壁和顶棚的表面,应平整、光洁、无裂缝、接口严密,无颗粒
工业净化车间的建筑围护界区和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。
2、净化车间内墙壁和顶棚的表面,应平整、光洁、无裂缝、接口严密,无颗粒物脱落,并应耐清洗和耐酸碱,墙壁和地面、吊顶结合处作成弧形,踢脚不宜高出墙面,当采用轻质材料融断时,应采用防碰撞措施。
3、净化车间的地面应整体性好、平整、耐磨、耐撞击,不易积聚静电,易除尘清洗,地面垫层应配筋,潮湿地区应做防潮处理。
4、技术夹层为轻质吊顶时,宜设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准,应与整个送回风系统相适应并易于除尘。
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半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
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