科研实验中为什么有些靶材要绑定背靶呢？

上一篇讲了光刻胶作用、分类、和市场前景，这一篇我们继续来看半导体制造材料的一种——靶材。靶材虽然不像光刻胶那么出名，但它也一样是制造芯片过程中必不可少的材料，靶材的好坏同样会影响芯片成品的性能。01 靶材靶材是制作薄膜的材料，利用高速荷能粒子轰击的目标材料，通过不同的激光（离子光束）和不同的靶材相互作用得到不同的膜系，实现导电和阻挡的功能。所以靶材又称为“溅射靶材”，他的工作原理就是利用离子源产生的离子，在真空中聚集并提速，用形成的高速离子束流来轰击靶材表面，发生动能交换，让靶材表面的原子沉积在基底。一块靶材由“靶坯”和“背板”组成，靶坯是由高纯金属制作而来，是高速离子束流轰击的目标；背板通过焊接工艺和靶坯连接，起到固定靶坯的作用，并且背板需要具备导热导电性。02 薄膜沉积再看一下薄膜沉积技术，薄膜沉积也是必不可少的环节，分为PVD（物理气相沉积）和CVD（化学气相沉积）。通俗来说就是分为物理沉积和化学沉积，物理沉积是指在真空条件下，运用物理方法将材料源转换为气态粒子沉积在基板上。常见的PVD方法有溅射（直流物理气相沉积、射频物理气相沉积、磁控溅射、离子化物理气相沉积）和蒸镀（真空蒸镀、电子束蒸镀）。化学沉积是指将含有薄膜元素的几种气相化合物或单质在衬底表面进行化学反应生成薄膜的方法。常见CVD方法有化学气相沉积（常压化学气相沉积、低压化学气相沉积、金属化学气相沉积、光化学气相沉积、激光化学气相沉积）和原子层沉积（ALD沉积可看作变相的CVD化学沉积）。03 靶材产业链靶材的产业链可以笼统地看成4个部分，分别是金属提纯、靶材制造、溅射镀膜、终端应用。从高纯度金属提炼出靶材再采用溅射工艺镀膜后，被芯片、平板显示器、太阳能电池、存储、光学等领域应用。这其中技术要求最严格的是金属提纯和溅射镀膜这两个环节。金属提纯的意思是将不规则的金属通过化学的电解、热分解或者物理的蒸发结晶、电迁移、真空熔融等方法得到更纯，更规则的主金属。现有的金属提纯产能普遍集中于日本、美国等国家，他们高纯金属的资源和产业更集中；国内靶材厂商大多依赖进口，只有个别的高纯金属材料能自给。靶材制造是靶材厂商要做的事情，下游对靶材纯度的要求相当高。一般来说，太阳能电池和平板显示器对靶材的要求是4N，集成电路芯片对靶材的要求是6N，纯度更高。（4N就是99.99%，6N就是99.9999%）溅射镀膜是代工厂商的事情，也就是台积电、中芯国际这类公司。目前国内靶材厂商分为两类，一类是内部负责金属提纯，原材料是从金属粉末、金属、非金属、合金、化合物等材料开始，厂商自己提纯后再把靶材制作出来；另一种是内部不负责金属提纯，原材料从靶坯开始，厂商只负责焊接、机加、检测、清洗等工作将靶材制作出来。（靶材厂商制作靶材工艺流程图 · 阿石创招股说明书）靶材产业链的终端应用主要有5大类，分别是显示面板靶材（LCD）、半导体靶材、太阳能电池靶材（光伏）、磁记录靶材（机械键盘）、节能玻璃靶材。这其中平板显示（28%）、记录媒体（30%）、和太阳能电池（27%）占大头，半导体用靶材（9%）比例较小。04 靶材市场规模和前景2020年全球靶材市场规模约为196亿美元，从2013年的75.6亿美元，上升至196亿美元，复合增速超14%。我国溅射靶材市场规模从2013年106.3亿元上升至2020年337.38亿元，复合增速为17.94%。并且预计到2026年，我国溅射靶材市场规模有望突破650亿元，年复合增速为11.55%。再细分到靶材的每一个应用领域：我国显示面板靶材市场规模从39.40亿元上升至165.89亿元，年均复合增长率22.8%；记录媒体靶材市场规模从53.50亿元上升至95.63亿元，年均复合增长率8.65%；半导体靶材市场规模从9.40亿元上升至29.86亿元，年均复合增长率17.95%；太阳能电池靶材市场规模从3.50亿元上升至37.54亿元，年均复合增长率40.35%。从四大细分领域市场规模变化图里看，尽管部分数据是靠预测来的，但也可以很明显地看出我国靶材的市场规模增速没有明显的增加，一直保持稳定的速率增长。而这其中半导体靶材和太阳能电池靶材的市场增速最快；这主要是因为半导体和光伏市场近两年来的迅速发展所推动的。从国内自给率来看，显示面板靶材自给率49.05%，记录媒体靶材自给率25.28%，半导体靶材自给率29.31%，太阳能电池靶材自给率10.11%，也就是说半导体和太阳能电池未来的增速依旧会保持高增长。05 靶材市场竞争格局靶材和光刻胶一样，全球产能多集中在美日韩德手中，基本上以低端靶材国内自给，高端靶材依赖进口模式为主。全球溅射靶材市场集中度很高，CR4高达80%，前四家厂商占据了整个市场的8成，这四家企业是：JX日矿金属、霍尼韦尔、东曹、和普莱克斯。2019年全球溅射靶材市场规模160亿美元左右，国内对靶材的总需求约在30%，也就是50亿美元，合计人民币325亿元；国内头部企业合计营收在30~40亿美元，国内自给率在10%左右。这是我国未来靶材市场的机会所在，有90%的国产替代市场空间可以提升，而我国本土企业也正处在加速替代过程中。在疫情的背景下，全球产能供不应求，国内厂商更是加快脚步抢占市场份额。06 政策国家对靶材整个行业也一直保持高度关注，从“八五”规划中提出在信息技术、新材料技术等领域安排一批专题研究项目，到去年的“十四五”中首次提出了研发“高纯靶材”等关键材料的发展方向。纵观整个“十四五”规划对于集成电路的描述全集中在以下这段话里面提到了芯片设计、设备、IGBT、MEMS、存储芯片、第三代半导体、以及高纯靶材。这充分地说明了国家对高纯靶材这一关键材料的重视，未来五年内高纯靶材会加速国产化。具体到实际的政策利好方面，2021年3月份发布的对集成电路的支持政策中提到：对国内不能生产或性能不能满足需求的原材料、消耗品的进口免征关税；通俗来说就是进口不需要交关税了，这会大幅下降靶材制造商的成本。07 相关公司1.江丰电子：公司自成立以来一直从事高纯溅射靶材的研发、生产和销售业务；主要产品为各种高纯溅射靶材，包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等。目前，公司的超高纯金属溅射靶材产品已应用于世界著名半导体厂商的先端制造工艺，在7纳米技术节点实现批量供货。2018~2020年度，江丰电子营业收入分别是6.5亿元、8.25亿元、11.67亿元。2.有研新材：公司旗下全资子公司有研亿金是国内规模最大、材料种类最齐全的高端电子信息材料研发制造企业；产品包括全系列高纯金属材料、溅射靶材和蒸发镀膜材料；其靶材产品主要包括铝及其合金靶材、钛靶、铜靶、钽靶等。3.阿石创：公司是国内PVD镀膜材料行业产品品种较为齐全、应用领域较为广泛、工艺技术较为全面的综合型PVD镀膜材料生产商；主导产品为溅射靶材和蒸镀材料两个系列产品，已在平板显示、光学元器件、节能玻璃等领域得到广泛应用，并已研发出应用于太阳能电池、半导体等领域的多款产品。下游客户包括蓝思科技、伯恩光学、宸鸿科技、爱普生、水晶光电等。4.隆华科技：公司全资子公司四丰电子是国内唯一一家实现完全替代进口、已量产供应高端钼靶材的企业；主要产品包括高纯钼/铜/钛，系列靶材产品；其中钼靶材已普遍应用于TFT-LCD行业平面溅射生产线；四丰电子钼靶材在国内市场占有率已超过30%。公司旗下子公司晶联光电成为国内唯一在TFT领域获得客户认可并开始批量供货的国产氧化铟锡（ITO）靶材服务商。公司旗下子公司丰联科负责对靶材绑定，采用钎焊技术进行靶材绑定加工。2018~2020年度，隆华科技营业收入分别是1.86亿元、2.30亿元、2.80亿元。（特别说明：文章中的数据和资料来自于公司财报、券商研报、行业报告、企业官网、百度百科等公开资料，本报告力求内容、观点客观公正，但不保证其准确性、完整性、及时性等。文章中的信息或观点不构成任何投资建议，投资人须对任何自主决定的投资行为负责，本人不对因使用本文内容所引发的直接或间接损失负任何责任。）

挖贝网4月28日，隆华 科技 （300263）近日发布2021年度报告，报告期内公司实现营业收入2,209,074,850.35元，同比增长21.10%；归属于上市公司股东的净利润290,894,734.78元，同比增长30.88%。

报告期内经营活动产生的现金流量净额为23,516,229.43元，截至2021年末归属于上市公司股东的净资产3,117,387,177.08元。

由于国家环保政策推行对污水处理的标准越来越高，所以污水处理市场巨大，是万亿级市场。并且随着我国城镇化进程加快，城市供水处理市场需要大增。同时生活污水排放量逐年增加，水污染治理的重要性和迫切性不断提升，管网建设也是当前政府重点任务，市政污水处理市场增长空间越来越大，市政污水处理行业正处于快速发展阶段，未来发展前景广阔。公司通过自主营销、合作营销等模式，或者通过与大型央企合作等模式，坚持差异化经营，同时借助目前公司已实施市政项目的区域资源，在少投资、少垫资的前提下争取市政水处理订单并投入。

公告显示，报告期内董事、监事、高级管理人员报酬合计1,105.61万元。董事长李占明从公司获得的税前报酬总额100万元，总经理刘玉峰从公司获得的税前报酬总额103.38万元，副总经理、财务总监段嘉刚从公司获得的税前报酬总额90万元，副总经理、董事会秘书张源远从公司获得的税前报酬总额90万元。

公告披露显示公司经本次董事会审议通过的利润分配预案为：以截至2021年12月31日公司总股本扣除回购专用账户已回购股份10,000,041股后股本904,221,263股为基数，向全体股东每10股派发现金红利0.35元（含税），送红股0股（含税），以资本公积金向全体股东每10股转增0股。

挖贝网资料显示，隆华 科技 主要产品包括TFT-LCD/AMOLED、半导体IC制造用高纯溅射靶材、高纯钼/铜/钛等系列靶材产品，以及钼顶头、钨籽晶绳、钨薄片等系列非靶材钨钼深加工制品。

本文源自挖贝网

成功转型新材料领域的隆华 科技 (300263)，近年来保持了业绩高增长态势。电子新材料、高分子复合材料、节能环保三大业务板块协同发力的同时，该公司近年来也瞄准新能源领域，在光伏、风电，乃至新能源电池市场开发新业绩增长点，并取得了阶段性成效。

2021年及2022年一季度连 续高增长

4月27日晚间，隆华 科技 披露2021年年报显示，期内该公司实现营业收入22.09亿元，同比增长21.1%；净利润2.91亿元，同比增长30.88%；基本每股收益0.32元/股，同比增长28%。

这已是隆华 科技 连续第五个会计年度实现业绩正向高速增长。

2015年启动二次腾飞发展战略的隆华 科技 ，成功从一家主营传热节能设备的企业，转型发展为如今以电子新材料、高分子复合材料与节能环保产业相协同的产业矩阵。

电子新材料业务板块方面，隆华 科技 旗下四丰电子的高纯钼靶材已广泛应用于G2.5-G11全世代TFT-LCD、AMOLED等半导体显示面板溅射镀膜生产线，是京东方、天马微电子、TCL华星、台湾群创以及韩国LGD等多家全球主要面板企业的主要供应商。而子公司晶联光电的ITO靶材也已逐步稳定量供于京东方、TCL华星、天马微电子及信利半导体等客户的多条高世代TFT面板产线，并且还是国内首家批量供应G10.5平面ITO靶的供应商，是国产ITO靶材的主力供应商，打破了长期以来国外垄断，解决了国产ITO靶材“卡脖子”问题。在光伏领域，晶联光电多种新型靶材同时开发，开发出的特殊比例光伏靶材已通过隆基等客户的认证。另一子公司丰联科主要从事金属、合金靶材及ITO靶材绑定业务，实现了公司靶材业务自主绑定及产业链纵向延伸。

高分子复合材料业务方面，隆华 科技 旗下兆恒 科技 PMI系列产品是各型民用飞机、军用飞机、无人机等各种飞行器（机身、机翼、桨叶等）用碳纤维复合材料制成时必须的配套材料，同时还可以广泛应用于磁悬浮列车、航天、舰船、车辆、雷达通信、音响设备、医疗设备、运动休闲器械等各个领域。子公司海威复材产品不仅应用于舰船舱室防护、次承力结构、舾装等部位，而且开始向主承力结构以及结构功能、结构多功能复合材料整体装备拓展，为实现舰船和海洋装备的轻量化、隐形化发挥着重要作用。而科博思产品和技术主要应用于轨道交通、军工安防、其他轻质结构等行业领域。

节能环保业务方面，隆华 科技 装备事业部的节能换热业务聚焦于大工业传热领域，已经成为细分行业的技术引领者和标准制定者，市场占有率和盈利能力持续提升。环保业务领域，子公司中电加美围绕工业和市政两个方向，积极开展大型工业企业的凝结水处理及污水处理、中水回用业务，并选择性的开展市政水务项目。

三大板块协同发展下，2022年一季度，隆华 科技 也交出了绩优“成绩单”。

4月27日晚间该公司披露，2022年一季度实现营业收入5.71亿元，同比增长49.28%；净利润6569.56万元，同比增长19.14%，再次呈现营收业绩双增长局面。

牵手华锡优化光伏资产

在新材料领域获得持续发展的同时，隆华 科技 近年来逐步切入以光伏、风电为代表的新能源市场，酝酿新一轮业绩增长。

4月27日晚间隆华 科技 披露，为了促进公司电子新材料业务快速稳健发展，拟引入广西华锡集团股份有限公司（下称“华锡集团”）对全资子公司晶联光电进行增资扩股。

经友好协商，隆华 科技 、晶联光电与华锡集团拟签订《广西晶联光电材料有限责任公司增资扩股协议》（下称“增资扩股协议”），华锡集团拟以实物和现金合计1.06亿元出资晶联光电，其中8122.06万元计入注册资本，对应增资扩股后49%股权。

本次增资后，隆华 科技 持有晶联光电51%股权，晶联光电仍为公司控股子公司，不会导致合并报表范围发生变更。

据悉，上述各方签订增资扩股协议受到柳州市政府高度重视。4月25日协议签订现场，柳州市委书记，市长、市人大常委会主任，市政协主席等各界领导悉数到场见证。

早在2021年9月隆华 科技 就曾公告与华锡集团在中国—东盟博览会共同签署了《ITO 项目合作框架协议》，双方拟合作推动ITO靶材在显示面板、光伏领域的快速发展，共同做大做强ITO靶材全产业链。

作为集有色金属探、采、选、冶、深加工为一体的国有控股企业，华锡集团拥有得天独厚的矿产资源，其中铟储量居世界前茅，锡、锌、锑名列全国前茅，是亚洲最大锡多金属矿选矿基地，拥有国内唯一的铟锡锑资源综合利用示范基地和铟锡资源高效利用国家工程实验室。

而晶联光电拥有自主研发生产ITO靶材的核心技术，生产的ITO靶材各项性能指标参数能够满足下游高端显示行业、光伏行业的应用要求，已获得市场高度认可，晶联光电已发展成ITO靶材国产化的龙头企业。

此番协议中各方也明确，将以广西晶联为核心，与华锡集团国家工程实验室合作，成立合作研发小组进行新材料相关研发，且研发所得成果归合作小组共同拥有。由此可见，此番华锡集团的加入，将使广西晶联进一步打通上下游，实现联合测试开发，从而有利于占据市场先发优势。

隆华 科技 也称，本次引入华锡集团作为晶联光电投资者能够充分发挥各自行业背景和资源、技术优势，加快推动晶联光电在电子新材料产业板块的市场占有率，从而提升公司的综合竞争力。

新能源领域持续发力

基于子公司科博思PVC结构泡沫的优质性能，近年来隆华 科技 也瞄准风电市场稳步发展。

据了解，科博思于2020年9月开始生产高性能PVC芯材，公司PVC结构泡沫与国外龙头企业产品在各项性能上基本一致，且具有价格优势。公司风电用PVC结构性泡沫芯材通过了通过了德国DNV.GL 认证，并已经通过了下游包括金风 科技 、中材 科技 、三一重工、天津东汽、锦辉风电等客户的测试认证及审核，进入量产阶段。

而由于市场上结构泡沫材料主要为PVC结构泡沫材料和PET结构泡沫材料，定位于高端市场，加之泡沫材料行业的高投入和高技术含量，行业进入壁垒较高，我国结构芯材行业内企业较少，国内结构芯材市场出现供不应求的局面。早前隆华 科技 就曾公告，科博思高性能PVC芯材在手订单较多，产能明显紧张。

光伏、风电外，隆华 科技 在新能源电池领域也有布局。

2019年4月29日隆华 科技 曾公告，公司参与投资设立并控制的产业基金厦门隆华信科股权投资管理合伙企业（有限合伙）（下称“隆华信科”）以可转换债券方式向国威派克（泰州）新能源智能装备有限公司（下称“国威派克”）提供总额为3000万元的投资款。而2022年4月27日晚间隆华 科技 进一步公告，出于对国威派克发展的认可，各方签订补充协议一致同意，决定将原可转换债券投资的转换期限延长24个月。

国威派克是集电池 PACK研发、生产、销售服务于一体的综合性、智能化高 科技 公司。

隆华 科技 表示，智能装备、新能源发展市场需求空间较大，本次可转换债券投资展期能够实现公司产业布局的多元化，符合公司经营发展的需要。

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