射频电源是用来干什么的?可以用来加热吗?

射频电源是用来干什么的?可以用来加热吗?,第1张

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。

射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。

世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。

一套1KW的射频电源通过匹配器修改匹配角后的输出电压可以达到6KV,在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。

该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。

自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”,这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度。

我是做半导体设备维修的,我说说个人接触到的情况,仅供参考。

1、目前半导体公司、太阳能公司设备没有见到国产的,学校的试验设备上有使用国产电源的。

2、射频电源和匹配器物料成本我算不准,射频电源贵重物料是开关电源及射频功率管,匹配器贵重物料是2个真空电容及2个电机,所有物料估计3万能搞定。

3、国外的射频电源基本上是烧坏了部件出现故障,国产的还要解决技术,杭州有所学校的汽车学院,设备上有使用国产电源,射频电源开到500W,匹配器老出故障,自动匹配器基本用不了,按手动匹配,真空计读数跳到200多、显示器显示不停的晃动。

4、国产电源在匹配器程序算法上应该要调试;硬件上,只有选用好的射频器件我觉得应该也是一样的。

5、国外的电源一般还行,目前行业内性价比高的600W还真的是SMITCH、AE.

一到夏天就汗流浃背,热得不行,随着科技的进步,电扇已经逐步空调所取代。不可否认,炎热的夏天能有一阵凉风吹来是一件多么美好的事情,这就是科技给我们带来的便利,但是相信有不少人并不知道空调的几种新型制冷技术,对其原理更是知之甚少。那么下面小编就为大家简单介绍一下目前空调用制冷技术的几种新型技术及其制冷原理。

一、太阳能制冷原理

主要有吸收式、吸附式、冷管式、除湿式、喷射式和光伏等制冷类型。

(1)太阳能吸收式制冷:用太阳能集热器收集太阳能来驱动吸收式制冷系统,利用储存液态冷剂的相变潜热来储存能量,利用其在低压低温下气化而制冷,目前为止示范应用最多的太阳能空调方式。多为溴化锂—水系统,也有的采用氨—水系统。

(2)太阳能吸附式制冷:将收式制冷相结合的一种蒸发制冷,以太阳能为热源,采用的工质对通常为活性碳—甲醇、分子筛—水、硅胶—水及氯化钙一氨等,可利用太阳能集热器将吸附床加热后用于脱附制冷剂,通过加热脱附——冷凝——吸附——蒸发等几个环节实现制冷。

(3)太阳能除湿空调系统:是一种开放循环的吸附式制冷系统。基本特征是干燥剂除湿和蒸发冷却,也是一种适合于利用太阳能的空调系统。

(4)太阳能喷射式制冷:通过太阳能集热器加热使低沸点工质变为高压蒸汽,通过喷管时因流出速度高、压力低,在吸入室周围吸引蒸发器内生成的低压蒸汽进入混合室,同时制冷剂任蒸发器中汽化而达到制冷效果。

(5)太阳能冷管制冷:这是一种间歇式制冷,主要结构是由太阳能冷管、集热箱、制冷箱、蓄冷器和冷却水回路等组成,是一种特殊的吸附式制冷系统

(6)太阳能半导体制冷:该系统由太阳能光电转换器(太阳能电池)、数控匹配器、储能设备(蓄电池)和半导体制冷装置四部分组成。太阳能光电转换器输出直流电,一部分直接供给半导体制冷装置进行制冷运行,另一部分则进入储能设备储存,以供阴天或晚上使用,保证系统可以全天候正常运行。

二、余热制冷原理

汽车预热制冷技术有喷射式,吸收式,混合式等方式。

吸收式制冷技术:余热驱动吸收式制冷装置以溴化锂水溶液为工质,各换热器独立安装于车厢底板下且位于同一平面内,利用特殊设计的连接管道连接形成密闭回路,合理利用车上的有限空间,解决现有汽车发动机余热驱动吸收式制冷设备因体积和重量过于庞大而无法应用于车辆上的问题。

喷射式制冷:由蒸汽喷射器、蒸发器和冷凝器(即凝汽器)等设备组成,依靠蒸汽喷射器的抽吸作用在蒸发器中保持一定的真空,使水在其中蒸发而制冷。

三、磁制冷基本原理

磁制冷(又称磁卡效应,Magneto-CaloricEffect)即利用磁热效应制冷。磁制冷工质在等温磁化时向外界放出热量,而绝热去磁时从外界吸收热量。对与铁磁性材料,磁热效应在其居里温度(磁有序-无序转变的温度)附近最为显著,当作用有外磁场时,该材料的磁熵值降低并放热反之当去除外磁场时,材料的磁熵值升高并吸热。

当然目前存在的空调用制冷技术并不是只有这么几种,还有热声制冷、地热制冷、激光制冷等多种制冷技术。这些新型制冷技术的发展将会逐渐取代氟利昂类制冷剂,这对于保护地球的臭氧层、改善温室效应、节约能源有着非常重要的意义。因此,这些新型技术的研究和开发具有着十分重要的战略意义。好了,小编的介绍就到这里了,希望对您有所帮助。

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