而在VLSI中(即超大规模集成电路)因为需要精度高集成度高一般采用铜互联代替铝,采用镶嵌工艺和化学机械抛光技术
基本就是这样,有的可能还会用些铝合金
通常所说的半导体是指导电能力介于导体与绝缘体之间的物质,那么既然是金属就应该是导体。我猜测你的意思是咱们应用的半导体器件中用到了哪些金属,我学过金属氧化物半导体MOSFET,其中M即金属,我听说过用铝(提供自由电子)即AL-SIO2-SI,不过现在MOSFET场效应管金属栅极早已被多晶硅取代。知识有限,请原谅!
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
评论列表(0条)