半导体硅片镀的电路是哪些金属材料

半导体硅片镀的电路是哪些金属材料,第1张

一般普通的芯片中的互连线用的是铝线和二氧化硅介质的互连线工艺,一般采用常规淀积和干法刻蚀

而在VLSI中(即超大规模集成电路)因为需要精度高集成度高一般采用铜互联代替铝,采用镶嵌工艺和化学机械抛光技术

基本就是这样,有的可能还会用些铝合金

通常所说的半导体是指导电能力介于导体与绝缘体之间的物质,那么既然是金属就应该是导体。我猜测你的意思是咱们应用的半导体器件中用到了哪些金属,我学过金属氧化物半导体MOSFET,其中M即金属,我听说过用铝(提供自由电子)即AL-SIO2-SI,不过现在MOSFET场效应管金属栅极早已被多晶硅取代。

知识有限,请原谅!


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