射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。
射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。
世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。
一套1KW的射频电源通过匹配器修改匹配角后的输出电压可以达到6KV,在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。
该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。
自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”,这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度。
欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
评论列表(0条)