什么是半导体?为什么芯片半导体行业需要使用应急电源呢?

什么是半导体?为什么芯片半导体行业需要使用应急电源呢?,第1张

半导体行业是指将类似硅这种绝缘材料通过注入离子等手段形成通路变为导体,半导体就是介于导体与绝缘体之间的材料,认为可控的材料,半导体的应急电源,一般是应用与设备机台原因,比如半导体里面的炉管,一管里一般有很多的货,如果没有应急电源而市电又突然停了,那么这些货很大概率会报废,这样成本很高,根据制成不同,这些货有的可损失上达几百万,而且现在半导体行业的机台一般都比较老久,突然断电也可能会烧毁设备主板电路板,而这类配件一不好买,二的话很贵,这时候应急电源就是将这种损失降到最小

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源,可以用来加热。

射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源,主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。

世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。

一套1KW的射频电源通过匹配器修改匹配角后的输出电压可以达到6KV,在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。

该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。

自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”,这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度。


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