值得注意的是,上海的集成电路产业,是全产业链式的发展,除设计、制造、封装之外,近年来,上海同时高度重视半导体设备和材料产业的发展,力求从底层为产业的稳定发展提供支撑。
据了解,2021年,上海集成电路材料销售规模已经达到290亿,同比增长30%。其中,张江设备材料业超过上海的一半以上,占到52%。2022年1-8月,上海集成电路设备材料继续保持增长态势,实现销售170亿元,同比增长30%。
根据上海集成电路产业的布局,上海是以张江和临港,为双核驱动来布局集成电路全产业链,同时在金山、奉贤两地布局化工区,近两平方公里的区域,重点发展电子化学、制造、仓储和研发。
具体说来,目前,在张江集成电路设备材料业当中,除集聚了国内知名度的企业中微、盛美、陛通、安集等企业之外,还集聚了应材、东电、泛林等国际知名企业的中国总部。张江已经具备了光刻机、清洗、抛光、电镀,PVD\CVD\ALD、量测检测,离子注入等设备,以及抛光业、材料业研发和产业化。
临港,则是上海新的东方之芯,上海集成电路第二个全产业链的集聚之地。目前落户了新升大硅片,中微等设备材料企业。芯源微、拓荆科技等国内领先的企业也选择将尖端产品移至临港。
此外,上海部分区县形成了特色材料,松江区,在关键工艺材料硅片领域,有自己的特色。青浦区,在前道量测检测设备形成了特色,宝山区则是电子化学较为突出。
经过十几年的耕耘,上海集成电路设备材料产业形成了以下特色:
先进装备已向先进工艺方面发展。在先进装备方面,已经触及到3纳米,比如,中微的刻蚀机,可用于3纳米芯片制造。目前,中微的5纳米刻蚀机已经进入到国际一流的产线。现在已经向3纳米原型机的设计、制造以及初步的工艺。
整体实力已经上了新台阶。5到7纳米的设备解决方案,正在研发和量产的品种上,已经日益丰富。比如,中微先进逻辑电路的刻蚀设备,就是
中微公司不是国企。中微公司,中微半导体设备(上海)股份有限公司,是一家中外合资企业。中微半导体设备(上海)股份有限公司成立于2004年5月31日,总部位于.上海市浦东新区。中微半导体设备(上海)股份有限公司主要从事集成电路、LED芯片等微观器件的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。中微半导体设备(上海)股份有限公司的股东:上海创业投资有限公司、巽鑫(上海)投资有限公司、国开创新资本投资有限责任公司、南昌智微企业管理合伙企业等。中微半导体设备(上海)股份有限公司的前身是中微有限公司,由中微亚洲公司出资设立,设立时,中微有限公司是外商独资企业。2018年12月18日,中微有限公司召开董事会,将中微有限公司整体变更为外商投资股份有限公司。中微半导体设备(上海)股份有限公司荣获“第十六届中国国际工业博览会金奖”、“第二十届中国国际工业博览会银奖"等奖项。2018年初,美方涉嫌侵犯中微半导体设备(上海)股份有限公司专利权利的设备。
【拓展资料】
2018年年初,美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备。随着海关介入执法,美方主动与中微公司展开谈判,双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。2018年年初,中微半导体公司获悉,美方涉嫌侵犯中微公司专利权的设备即将从上海浦东国际机场进口,随即向上海海关提出扣留侵权嫌疑货物的申请。上海海关及时启动知识产权海关保护程序,在进口环节开展行政执法,根据权利人申请,暂停涉嫌侵权设备的通关,这批设备货值达3400万元。
随着海关介入执法,美方开始正视中微公司的自主研发专利及其在中国的知识产权状况,主动与中微公司展开谈判,双方最终达成全球范围相互授权的和解协议。
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