用什么仪器测脉冲

安捷伦科技日前宣布,推出Agilent 4075和4076 DC/RF/脉冲参数测试仪,用来检定使用高级工艺技术(如65 nm技术节点)制造的器件。通过Agilent 4075和4076,半导体测试工程师可以同时测量RF特点和DC特点,以满足当前体积日益缩小的多样化半导体器件需求,如65 nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅(SOI)晶体管和高介电常数(高k)器件。

体积缩小和器件速度提高,日益需要在生产过程中实现新的参数测试功能,而过去只有在实验室中才需要这些功能。Agilent 4075和4076为精确检定新的器件结构提供了所需的灵活性,如超薄栅氧化物MOSFET (金属氧化物半导体场效应晶体管)或通信应用中使用的高速半导体器件。通过先进的设计,Agilent 4075和4076支持10-ns短脉冲式IV测量,对热量或电荷异常灵敏的器件必需进行此类测量,如高速逻辑应用中使用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外,Agilent 4076支持直到1 fA的超低电流测量功能。

“Agilent 4075和4076使广大客户能够高效检定使用65 nm工艺技术制造的先进器件,从而加快器件开发周期,改善产出。”安捷伦Hachioji半导体测试分部副总裁兼总经理Minoru Ebihara说,“由于高频脉冲式测量功能,这些系统有助于正确检定对热量灵敏的器件。”

与整个4070系列一样,Agilent 4075和4076支持300 mm SECS/GEM自动化协议,这些协议已经在世界各地的生产线中得到验证。SECS/GEM是半导体行业的标准,保证制造设备共享一致的界面和行为。

现代超薄栅MOSFET容易受到电子隧道的影响。为检定其电容和电压(CV)行为特点,测量频率必需超过几兆赫。但是,高频CV (HFCV)及实现检定必需的射频频率CV (RFCV)测量技术之间相互抵触。Agilent 4075和4076同时支持HFCV (4294A)仪器和RFCV (ENA/PNA)仪器,使得用户能够选择最佳方法,满足自己的工艺技术和生产测试需求。

Agilent 4075和4076都把高速电容测量单元(CMU)集成到测试头中。这一功能可以在1 kHz - 2 MHz频率范围内,对层间/层内氧化物非常快速地进行电容测量,从而改善吞吐量,降低测试成本。

通信应用和高速逻辑应用要求深入检定高速半导体器件的性能。Agilent 4075与4076皆支持利用PNA进行RF的S参数测试功能,相对于目前市面上使用VNA的解决方案,以PNA为主的RF解决方案可提供更高的产出速度。

诸如SOI或高k等最新的先进技术需要超短的脉冲测试能力,以防止产生有害的热量或电荷敏感效应。然而,生产测试系统的脉冲式测量能力却只限于测量微秒的范围。Agilent 4075与4076可提供短至10纳秒的超短脉冲式IV测量能力,能有效地测量SOI或高k晶体管等对热或电荷高度敏感组件的特性。

Agilent 4076还为生产测试提供了实验室测试功能。高级工艺通常要求在生产中精确测量各种参数,如MOSFET低于门限的泄漏电流和铜(Cu)金属Van der Paw电阻。这些测量要求异常精确的电流和电压测量分辨率,而此前只有实验室中才能提供这种分辨率。

Agilent 4075和4076所有的RF、HFCV和超短脉冲式IV测量功能都可以在整个新设计的直接对接接口上使用。这种直接对接的设计可通过自动化的探针卡更换机制,让使用者轻易地控制和变换探针卡,而且这种RF直接对接的方式也不会减少任何的DC针脚。

诸如测量链接库和校准工具等 *** 作简易、采用图形化使用者接口的软件皆支持这些RF、HFCV和脉冲式IV测量功能。

Agilent 4284A精密LCR测试仪是用于元件和材料测量的价廉物美的仪器。它通过提供精确、高吞吐量的测试方法来改善元件的质量。20Hz到1MHz宽的测频范围和优良的测试信号，使4284A在测试元件时符合最通行的测试标准如IEC/MIL标准（国际电工委员会或美国军用标准），且工作在模拟所使用的工作条件下。无论在研究开发、生产、质量保证中还是进货检验，4284A都能满足全部LCR测量要求。 主要技术资料： ·4284A/4285A/4286A精密LCR测试仪系列技术资料，p/n5963-5391E ·4284A技术数据，p/n5963-5390E ·LCR测试仪，阻抗分析仪和测试夹具选购指南，p/n 5950-1430E 订货信息 ·4284A 精密LCR测试仪式 Opt 001功能放大器。直接偏置 Opt 002偏置电流接口 Opt 004存储卡 Opt 2m/4m电缆长度 *** 作 Opt 除GPIB接口（用于两种测试仪） Opt 201一般用途处理器接口（用于两种测试仪） Opt 202处理器接口（用于两种测试仪） Opt 301扫描器接口（用于两种测试仪） 42841A 偏置电流源 42842A 偏置电流测试夹具（20Amax) 42842B 偏置电流测试夹具（40Amax) 42842C 偏置电流测试夹具（10Amax) Opt 001 SMD 测试夹具（只用于HP42842C） 42843A 偏置电流电缆

挺皮实耐用的，软件比较人性化，核心部件光源为石英卤钨灯，荧光检测器是光电倍增管PMT，逐孔扫描保证了温度均一性，我们主要售荧光定量pcr，可以继续提问或者我的名。

Agilent实时荧光定量PCR仪(Mx3005P)

用途：

1. 可用于核酸定量、基因表达水平分析、基因突变检测、GMO检测及产物特异性分析等多种研究领域。

1. 工作条件

1.1工作温度：室温

1.2工作时间: 连续

1.3 相对湿度：20%-95%

1.4 工作电压：AC220V±10%,50HZ

2、技术参数

*2.1 激发光源： 石英卤钨灯,激发波长在350-750nm

*2.2 荧光检测器：光电倍增管PMT，发射波长在350-700nm，检测无边缘效应。

2.3 温度准确性：≤±0.25℃

*2.4 温度均一性：≤±0.25℃

*2.5 多色检测：五通道实时荧光定量检测,可同时检测五色荧光，其滤光片可根据客户要求配置或自由选择，无需内参。滤光片可以错配，可支持FRET。

2.6 可用探针和染料：支持常用的染料和化学试剂。TaqMan, FRET, Molecular Beacons, SYBR Green I,光交叉小于0.5%；染料为FAM/SYBR Green I,HEX/JOE/VIC,ROX/TEXAS RED, CY3,CY5,TET,NED/TAMRA均可使用

*2.7动力学范围：≥10个数量级

2.8 升降温方式：半导体加热制冷系统

2.9 样品容量：10-50ul

2.10 高通量实验平台：可同时进行96个反应，可以用96孔板、八联管、单管，试剂耗材开放

2.11 运行时间：具有快速定量PCR功能,在快速定量模式下40个循环运行时间≤50分钟

2.12 软件 *** 作界面友好，设计/运行/分析系统在同一软件 *** 作界面上，便于 *** 作；数据和图表可以采用excel/powerpoint/text/Image形式导出

2.13 仪器光学系统部分采用固化设计，仪器在搬动后不需要校正；在实验前，仪器可以自动进行光路校正光信号的传导与收集都通过光纤进行

2.14 反应过程中可实时分析数据，内置芯片可在断电或者连接中断时自动保存已有数据

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