常用什么表示半导体的掺杂浓度

常用什么表示半导体的掺杂浓度,第1张

SIMS。半导体的掺杂浓度,比如说掺硼、掺磷、掺砷、掺铝这些扩散,都是用D-SIMS测的。因为D-SIMS对应的叫动态匹配,低浓度到高浓度的范围还是比较广的。半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用。

硅的原子密度为5*10^22cm-3,掺入1%的As后,若杂质全部电离,则室温下载流子浓度为:

多数载流子(电子)n=5*10^22cm-3*1%=5*10^20cm-3

少数载流子(空穴)p=ni^2/n=0.45cm-3


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