pvd是什么工艺?

pvd是什么工艺?,第1张

PVD即物理气相沉积工艺。pvd是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术, 物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。

pvd物理气相沉积技术基本原理:

(1)镀料的气化:即使镀料蒸发,升华或被溅射,也就是通过镀料的气化源。

(2)镀料原子、分子或离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后,产生多种反应。

(3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。

以上内容参考:百度百科-物理气相沉积

pvd--物理气相沉积,是当前国际上广泛应用的先进的表面处理技术。其工作原理是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点,特别具有膜层附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。


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