半导体入门的书籍？

个人推荐

1.C.Kittel 《Introduction to Solid State Physics》

2.刘恩科 罗晋升 朱秉生 《半导体物理学》

3.黄昆 谢希德 《半导体物理学》

4.Ben G.Streetman 《Solid State Electronic Devices》

看完这四本应该差不多了，当然，应该具有一定的理论物理基础

半导体物理可以看刘恩科的；讲器件的书比较多，我看的陈星弼张庆中的《晶体管原理与设计》，公式推导很多，自学的话比较吃力

功率器件方面，看 Jayant Baliga 《Fundamentals of Power Semiconductor Devices》，很全面。如果觉得内容太多，可以看电子科大张波教授的精简版《Power Semiconductor Devices and Smart Power ICs》

半导体物理再往底，就是固体电子学，然后是量子力学，都是硬骨头，不好啃的

刻蚀技术可分为湿式刻蚀(wet etching)和干式刻蚀(dry etching)两种技术。第五章中已经对湿式刻蚀进行了较详细的介绍。湿式刻蚀具有待刻蚀材料与光阻及下层材质良好的刻蚀选择比（selectivity）。然而，由于化学反应没有方向性，因而湿式刻蚀是各向同性刻蚀。当刻蚀溶液做纵向刻蚀时，侧向的刻蚀将同时发生，进而造成底切（Undercut）现象，导致图案线宽失真。

---