晶圆是什么东西?

晶圆是什么东西?,第1张

晶圆是生产集成电路所用的载体。

晶圆(英语:Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,是生产集成电路(integrated circuit,IC)所用的载体。而我们现实中比较常见到的硅晶片就要数电脑CPU和手机芯片。

在半导体行业,尤其是集成电路领域,晶圆的身影随处可见。晶圆就是一块薄薄的、圆形的高纯硅晶片,而在这种高纯硅晶片上可以加工制作出各种电路元件构,使之成为有特定电性功能的IC产品。

晶圆制造工艺:

表面清洗:晶圆表面附着大约2um的Al2O3和甘油混合液保护层,在制作前必须进行化学刻蚀和表面清洗。

初次氧化:由热氧化法生成SiO2缓冲层,用来减小后续中Si3N4对晶圆的应力氧化技术。

热CVD:此方法生产性高,梯状敷层性佳(不管多凹凸不平,深孔中的表面亦产生反应,及气体可到达表面而附着薄膜)等,故用途极广。

以上内容参考:百度百科-晶圆

一、主体不同

1、LED芯片:也称为led发光芯片,是led灯的核心组件,也就是指的P-N结。一种固态的半导体器件。

2、灯珠:是发光二极管的英文缩写简称LED。

3、晶元:是LED的核心部分,单个的晶粒固定在塑胶或陶瓷制的芯片基座上。

二、原理不同

1、LED芯片:两个电极在外延片的同侧,由于电极在同一侧,电流在n-和p-类型限制层中横向流动不利于电流的扩散以及热量的散发。

2、灯珠:PN结的端电压构成一定势垒,当加正向偏置电压时势垒下降,P区和N区的多数载流子向对方扩散。

3、晶元:LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于晶圆材料。

三、特点不同

1、LED芯片:评价led芯片的质量主要从裸晶亮度、衰减度两个主要标准来衡量,在封装过程中主要从led芯片封装的成品率来计算。

2、灯珠:LED灯珠使用低压电源,供电电压在 2-4V之间,根据产品不同而异,所以驱动它的是一个比高压电源更安全的电源,特别适用于公共场所。

3、晶元:晶圆材料与衬底的晶体结构相同或相近,晶格常数失配度小,结晶性能好, 缺陷密度小。

参考资料来源:百度百科-LED晶圆

参考资料来源:百度百科-LED灯珠

参考资料来源:百度百科-LED芯片

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。

晶圆原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。如今国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1 片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点。

晶圆的抛光:

为防止晶圆在旋转过程中被甩出,抛光头必须具有保持环结构。在 CMP 技术的发展历程中出现过两种保持环:固定保持环和浮动保持环。

由于固定保持环无法避免边缘效应,目前的主流 CMP 装备均采用了浮动保持环,通过对浮动保持环施加不同的压力可以调节晶圆与抛光垫的接触状态,从而有效改善边缘效应。

由于保持环与抛光垫紧密贴合,必须在保持环底部设计一系列沟槽以引导抛光液顺利进入晶圆/抛光垫界面。此外,为提高寿命,保持环需选择高强度、耐腐蚀、耐磨损的聚苯硫醚或聚醚酮 等材料。


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: http://outofmemory.cn/dianzi/7598231.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-07
下一篇 2023-04-07

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存