怎么测量半导体薄膜的电阻率

测量半导体电阻率的方法很多，按是否与样品接触可以分为两类，即接触式和非接触式。常用的电阻率测量方法有直接法、二探针法、三探针法、四探针法、多探针阵列、扩展电阻法、霍尔测量、涡流法、微波法、电容耦合C-V测量等。对于体单晶的电阻率测量，生产中应用最普遍的是四探针法；对于半导体晶片的电阻率测量，微波法等非接触式测量方法由于使用方便、不损坏样品，因而应用也越来越多。

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电子顺磁共振首先是由前苏联物理学家 E·K·扎沃伊斯基于1944年从MnCl2、CuCl2等顺磁性盐类发现的。物理学家最初用这种技术研究某些复杂原子的电子结构、晶体结构、偶极矩及分子结构等问题。以后化

电子顺磁共振波普仪

学家根据电子顺磁共振测量结果，阐明了复杂的有机化合物中的化学键和电子密度分布以及与反应机理有关的许多问题。美国的B·康芒纳等人于1954年首次将电子顺磁共振技术引入生物学的领域之中，他们在一些植物与动物材料中观察到有自由基存在。

电子自旋共振谱仪（ESR）是测定物质中未成对电子的电子自旋共振现象的仪器，用于所有含未成对电子样品的电子自旋共振特性相关研究。ESR通过测试样品中顺磁性信号的谱图，对顺磁性物质进行定性、定量测试，最终得到这些顺磁性物质的结构和物理化学性质。ESR对于样品测试具有高选择性，不破坏样品性，同时可以进行原位检测。在检测自由基、过渡金属等方面有非常好的应用。本实验室拥有的FA-200电子顺磁共振波谱仪，配备了光照、变温、低温（77K）、转角度、以及加标定量的测试，能对固体、气体、液体等样品测试。http://ic.big-bit.com/news/list-283.html

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