半导体封装件的制作方法及半导体封装件。该半导体封装件的制作方法包括。在第一晶片上形成分离层;在所述分离层上形成帽;使用衬垫键合所述帽和第二晶片;将所述第一晶片和所述帽分离,形成包括所述帽、所述衬垫和所述第二晶片的半导体封装件;其中,所述第二晶片上具有谐振器,所述谐振器包括衬底和多层结构,在所述衬底和所述多层结构之间形成有腔体,所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体,使用帽结构对第二晶片上具有特殊腔体结构的谐振器等器件或结构进行隔离和保护,从而制造出结构性能更稳定、更优越的半导体封装件。
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