生产半导体用化工原料检验标准

生产半导体用化工原料检验标准,第1张

在半导体工艺中,硫酸常用于去除光刻胶和配制洗液等。清洗中主要利用其强酸性、氧化性来解脱吸附在硅片表面的金属和无机物。浓硫酸不仅能与金属活动表中氢以前的金属作用,而且在加热条件下还能与金属活动表中氢以后的金属铜、汞、银等金属发生氧化还原反应。

如果有还原性物质,硫酸的氧化性就会下降,清洗不彻底吧

PCB线路板有关质量检测标准一览表:

目 录 题 目

IPC-SC-60A 锡焊后溶剂清洗手册

IPC-SA-61 锡焊后半水溶剂清洗手册

IPC-AC-62A 锡焊后水溶液清洗手册

IPC-CH-65A 印制板组装件清洗导则

IPC-FC-234 单面和双面印制电路压敏胶粘剂组装导则

IPC-D-279 高可靠表面安装印制板组装件技术设计导则

IPC-A-311 照相版制作和使用的过程控制

IPC-D-316 高频设计导则

IPC-D-317A 采用高速技术电子封装设计导则

IPC-C-406 表面安装连接器设计及应用导则

IPC-CI-408 使用无焊接表面安装连接器设计及应用导则

IPC-TR-579 印制板中小直径镀覆孔可靠性评价联合试验

IPC-A-600F中文版 印制板验收条件

IPC-QE-605A 印制板质量评价

IPC-A-610C中文版 印制板组装件验收条件

IPC-ET-652 未组装印制板电测试要求和指南

IPC-PE-740A 印制板制造和组装的故障排除

IPC-CM-770D 印制板元件安装导则

IPC-SM-780 以表面安装为主的元件封装及互连导则

IPC-SM-782A 表面安装设计及连接盘图形标准(包括修订1和2)

IPC-SM-784 芯片直装技术实施导则

IPC-SM-785 表面安装焊接件加速可靠性试验导则

IPC-SM-786A 湿度/再流焊敏感集成电路的特性分级与处置程序

IPC-CA-821 导热胶粘剂通用要求

IPC-SM-839 施加阻焊前及施加后清洗导则

IPC-1131 印制板印制造商用信息技术导则

IPC/JPCA-2315 高密度互连与微导通孔设计导则

IPC-4121 多层印制板用芯板结构选择导则(代替IPC-CC-110A)

IPC/JPCA-6801 积层/高密度互连的术语和定义、试验方法与设计例

IPC-7095 球栅阵列的设计与组装过程的实施

IPC-7525 网版设计导则

IPC-7711 电子组装件的返工

IPC-7721 印制板和电子组装的修复与修正

IPC-7912 印制板和电子组装件的DPMO(每百万件缺陷数)和制造指数的计算

IPC-9191 实施统计过程控制(SPC)的通用导则

IPC-9201 表面绝缘电阻手册

IPC-9501 电子元件的印制板组装过程模拟评价(集成电路预处理)

IPC-9502 电子元件的印制板组装焊接过程导则

IPC-9503 非集成电路元件的湿度敏感度分级

IPC-9504 非集成电路元件的组装过程模拟评价(非集成电路元件预处理)

J-STD-012 倒装芯片及芯片级封装技术的应用

J-STD-013 球栅阵列及其它高密度封装技术的应用

IPC/EIA J-STD-026 倒装芯片用半导体设计标准

IPC/EIA J-STD-028 倒装芯版面及芯片凸块结构的性能标准

IPC/JEDEC J-STD-035 非气密封装电子元件用声波显微镜

IPC-HDBK-001 已焊接电子组装件的要求手册与导则

IPC-T-50F 电子电路互连与封装术语和定义

IPC-L-125A 高速高频互连用覆箔或未覆箔塑料基材规范

IPC-DD-135 多芯片组件内层有机绝缘材料的鉴定试验

IPC-EG-140 印制板用经处理E玻璃纤维编织物规范(包括修改1及修改2)

IPC-SG-141 印制板用经处理S玻璃纤维织物规范

IPC-A-142 印制板用经处理聚芳酰胺纤维编织物规范

IPC-QF-143 印制板用经处理石英(熔融纯氧化硅)纤维编织物规范

IPC-CF-148A 印制板用涂树脂金属箔

IPC-CF-152B 印制线路板复合金属材料规范

IPC-FC-231C 挠性印制线路用挠性绝缘基底材料(包括规格单修改)

IPC-FC-232C 挠性印制线路和挠性粘结片用涂粘接剂绝缘薄膜(包括规格单修改)

IPC-FC-241C 制造挠性印制线路板用挠性覆箔绝缘材料(包括规格单修改)

IPC-D-322 使用标准在制板尺寸的印制板尺寸选择指南

IPC-MC-324 金属芯印制板性能规范

IPC-D-325A 印制板、印制板组装件及其附图的文件要求

IPC-D-326 制造印制板组装件的资料要求

IPC-NC-349 钻床和铣床用计算机数字控制格式

IPC-D-356A 裸基板电检测的数据格式

IPC-DW-424 封入式分立布线互连板通用规范

IPC-DW-425A 印制板分立线路的设计及成品要求(包括修改1)

IPC-DW-426 分立线路组装规范

IPC-OI-645 目视光学检查工具标准

IPC-QL-653A 印制板、元器件及材料检验试验设备的认证

IPC-CA-821 导热粘接剂通用要求

IPC-CC-830A 印制板组装件用电绝缘复合材料的鉴定与性能(包括修改1)

IPC-SM-840C 永久性阻焊剂的鉴定及性能(包括修改1)

IPC-D-859 厚膜多层混合电路设计标准

IPC-HM-860 多层混合电路规范

IPC-TF-870 聚合物厚膜印制板的鉴定与性能

IPC-ML-960 多层印制板用预制内层在制板的鉴定与性能规范

IPC-1902/IEC 60097 印制电路网格体系

IPC-2221 印制板设计通用标准(代替IPC-D-275)(包括修改1)

IPC-2222 刚性有机印制板设计分标准(代替IPC-D-275)

IPC-2223 挠性印制板设计分标准(代替IPC-D-249)

IPC-2224 PC卡用印制电路板分设计分标准

IPC-2225 有机多芯片模块(MCM-L)及其组装件设计分标准

IPC-2511A 产品制造数据及其传输方法学的通用要求

IPC-2524 印制板制造数据质量定级体系

IPC-2615 印制板尺寸和公差

IPC-3406 表面贴装导电胶使用指南

IPC-3408 各向异性导电胶膜的一般要求

IPC-4101 刚性及多层印制板用基材规范

IPC/JPCA-4104 高密度互连(HDI)及微导通孔材料规范

IPC-4110 印制板用纤维纸规范及性能确定方法

IPC-4130E 玻璃非织布规范及性能确定方法

IPC-4411 聚芳基酰胺非织布规范及性能确定方法

IPC-DR-570A,IPC-4562,IPC6016 印制线路用金属箔(代替IPC-MF-150F)

IPC-6011中文版 印制板通用性能规范(代替IPC-RB-276)

IPC-6012A中文版 刚性印制板的鉴定与性能规范(包括修改1)

IPC-6013 挠性印制板的鉴定与性能规范(包括修改1)

IPC-6015 有机多芯片模块(MCM-L)安装及互连结构的鉴定与性能规范

IPC-6016 高密度互连(HDI)层或印制板的鉴定与性能规范

IPC-6018 微波成品印制板的检验和测试(代替IPC-HF-318A)

IPC/JPCA-6202 单双面挠性印制板性能手册

J-STD-001C 电气与电子组装件锡焊要求

IPC/EIA J-STD-002A 元件引线、端子、焊片、接线柱及导线可焊性试验

J-STD-003 印制板可焊性试验(代替IPC-S-804A)

J-STD-004 锡焊焊剂要求(包括修改1)

J-STD-005 焊膏技术要求(包括修改1)

J-STD-006 电子设备用电子级锡焊合金、带焊剂及不带焊剂整体焊料技术要求(包括修改1)

IPC/JEDEC J-STD-020A 非密封固态表面贴装器件湿度/再流焊敏感度分类

IPC/JEDEC J-STD-033 对湿度、再流焊敏感表贴装器件的处置、包装、发运和使用

封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。

1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;

2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;

3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;

4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;

5,其他根据芯片特性的测试。


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