什么是半导体参数分析仪，或者叫半导体器件分析仪？

半导体参数分析仪（器件分析仪）是一种集多种测量和分析功能于一体的测试仪器，可准确执行电流-电压（IV）和电容测量（CV（电容-电压）、C - f（电容-频率）以及 C – t（电容-时间）测量），并快速、轻松地对测量结果进行分析，完成半导体参数测试。半导体参数测试是确定半导体器件特征及其制造过程的一项基础测量。在参数测试中，通常需要进行 IV 测量，包括分辨率低至 fA（毫微微安培）的小电流测量和高达 1 MHz 的CV 测量，并对主要特征/参数进行分析。虽然半导体参数分析仪的设计初衷是进行半导体评测，但因其优越的性能、强大的功能以及出色的易 *** 作性，现已在各种材料、器件和电子器件的 IV 和 CV 表征中得到广泛应用。

半导体参数分析仪可为表征任务提供更高的性能、更强的可用性以及更高的效率。参数分析仪集多种测量资源于一身，可轻松进行 IV 和 CV 测量，无需汇集或集成多种仪器，例如电源、电压表、电流表、LCR 表、开关矩阵等。参数分析仪的主要测量元器件是电源/测量单元（SMU）。SMU 是一种将电压/电流源功能和电压/电流表功能结合于单一模块中的测量模块。由于该参数分析仪将电源和测量电路紧密集成，所以相比使用多种独立仪器进行相同测量来说，可以提供更高的精度、分辨率以及更小的测量误差。

此外，参数分析仪还具有分析功能，使您无需借助外部 PC 便可快速地交互检查和分析显示屏上的测量结果。由于半导体参数分析仪具有多种功能，因此适用于从探索分析到自动测试的各种测量环境。

光谱仪是一种利用金属折射光进行检测的设备，因为地球上不同的元素及其化合物都有自己独特的光谱特征，光谱因此更被称之为为辨别物质的“指纹”，通过检测金属的光谱就可以来获取物质的成分信息及元素含量。因其光谱仪的作用及应用范围范围非常广泛，在汽车，膜工业，拉曼光谱，半导体工业，成分检测等领域多有涉及。

因此其光谱仪内部用于检测光的核心部件传感器及光栅就显得格外重要，光栅重要对折射回来的光谱进行分光处理，而采购器则负责对光的感应及信息处理，因此这两个核心硬件的质量直接决定着光谱仪检测是否精准。而要想完全发挥光谱仪的作用，除了内部核心硬件高质量之外，还需要注意以下问题。首先，因为光谱仪是采用电火花检测，在激发的一瞬间会产生大量高温，为能够连续检测就需要准备降温设备（如空调），并且还需要准备高纯度的氩气用于辅助光谱仪进行相关检测。其次在选择室内时应选择干燥区域，避免内部接触到水分，并且尽可能不要放置在强光处被暴晒。这样在检测时注意这些，让光谱仪的作用发挥极限。