世界上第一台三坐标测量机诞生于哪里?

1973 年德国机械设计师蔡司发明的蔡司(Carl Zeiss)是世界著名的精密光学仪器产品制造商，由德国著名机械师卡尔۰蔡司先生于1846年在德国耶那创建，随后与物理学家恩斯特۰ 阿贝教授和化学家奥托·肖特博士共同组建了蔡司基金会。目前公司由已隶属于德国政府的蔡司基金会管理。公司至今已有一百五十多年的历史，1996年公司150年庆典仪式上原德国总理科尔亲临蔡司发表贺词。现公司总部设在德国的奥波科亨，公司设有民用光学、工业测量仪器、显微镜、医疗仪器、半导体技术及光电系统几个部门。1973年蔡司公司成功地制造了世界上第一台CNC三座标测量机UMM500，以后每年都有新的专业技术开发出来, 如用于安装探针的电磁吸盘、用于超精密测量机的CARAT主轴、用于精密测量机的对温度不敏感，零膨胀系数的ZERODUR�0�3光栅尺，而蔡司公司独自开发的具有独特技术的探头更是处于领先位置：双触发原理的ST3探头、两个相互垂直的轴均可以旋转±180˚并且为2.5˚分度的RDS/RST旋转探头、用于扫描式测量机的主动式高速扫描VAST万能扫描探头、非接触式的光学测量探头VISCAN，激光扫描探头AutoSCAN等等，另外蔡司更具有独特的旋转铣削头能直接在三坐标测量机上加工出各种模型。到目前为止蔡司已有多项专利技术，从而使蔡司公司在座标测量技术上远远领先于其他公司。蔡司远东有限公司是德国蔡司在远东地区成立的分公司，它于八十年代初在香港成立。其主要任务是产品销售和技术服务。随着公司的不断发展，目前已具备二家公司（蔡司远东有限公司[香港],蔡司光学仪器（上海）国际贸易有限公司[上海]）、二个技术培训中心（香港、上海）、三个代表处（北京、上海、广州）。 蔡司公司在中国拥有目前业内最全面的售后服务队伍,拥有众多专业的技术专家,为用户提供专业,严谨,及时的售后服务。1999年，蔡司在上海外高桥保税区建立了除德国本土以外的最大的产品展示培训中心,同时在这里设有多种零部件的备件仓库，大大缩短了备件更换维修的周期，能更好更快的为中国用户服务。蔡司目前在中国已有300多个用户，400多台设备在多个行业中使用。蔡司是CNC三坐标测量机的发明者和领先者；蔡司是全世界最大的CNC三坐标测量机生产厂；

对集成电路来说：一般来说4寸晶圆的厚度为0.520mm,6寸晶圆的厚度为

0.670mm左右。晶圆必须要减薄，否则对划片刀的损耗很大，而且要划两刀。我们做DIP封装，4寸晶圆要减薄到0.300mm；6寸晶圆要减薄到0.320mm左右，误差0.020mm。

量测仪器片厚用千分尺就行了，膜厚一般用热波仪器量测，通过量测不同分布的多点厚度，求平均得出膜厚，一般同时反映膜的均匀性，并可见模拟等高线

如果对厚度测量的要求不是特别精确，那么台阶仪相对较高，那么就使用椭偏仪。

光学薄膜测厚仪(光谱测厚仪系列)核心技术介绍及原理讲解广州金都科恩精密仪器有限公司为您解答:光谱测厚仪系列具有非接触无损测量、无需样品预处理、软件支持Windows *** 作系统等特点，ST系列是一种使用可见光测量在晶片和玻璃等基底上形成的氧化膜、氮化膜、光刻胶和其他非金属膜厚度的仪器。测量原理如下:用可见光垂直照射待测晶片或玻璃上的薄膜。在此期间，一部分光在薄膜表面反射，另一部分光穿透到薄膜内部，然后在薄膜与底层(晶片或玻璃)的界面反射。此时，从薄膜表面反射的光和从薄膜底部反射的光发生干涉。SpectraThick系列就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。仪器的光源为钨灯，波长范围为400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这个原理，测量区域的直径是4微米到40微米(2微米到20微米可选)。ST8000-Map作为K-MAC最重要的产品之一，具有图像处理功能，是超越一般膜厚测量仪极限的新概念测厚仪。被测区域的最小直径为0.2μm，远远超过一般测厚仪的测量极限(4μm)。只有依次测量几十个点才能得到的厚度图，也可以一次测量得到，大大提高了速度和精度。这项技术已经获得专利。韩国K-MAC SpectraThick系列的另一个优点是在一般仪器无法测量的粗糙表面(如铁板、铜板)上形成的膜厚也可以测量。这是一种叫做视觉厚度的新概念的测量原理。除了测量薄膜厚度之外，它还具有测量透射率、在玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻、接触角等功能。目前国内外半导体行业和光刻胶行业很多知名企业都选择了K-MAC膜厚仪。广州金都科恩精密仪器有限公司是中国的总代理，您可以通过访问企业网站了解更多关于不同应用仪器的信息。。产品说明:本仪器是将紫外-可见光照射在被测物体上，利用被测物体反射的光来测量薄膜厚度的产品。本产品主要用于导电膜领域的研发或生产，特别是作为半导体在线监测仪器及相关显示工作。产品特点1)由于使用的是光，所以是非接触、非破坏性的，不会影响实验样品。2)可以获得薄膜的厚度和n、k数据。3)测量快速准确，不需要对测量用实验样品进行破坏或处理。4)可以测量3层以内的多层膜。5)可根据应用自由选择手动或自动类型。6)产品风格多样，也可根据客户要求设计产品。7)晶圆/LCD(载物台尺寸3”)上可测量的薄膜厚度8)桌面型，适用于大学、研究实验室等。

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