随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单晶硅;清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。
石英管的物理、化学性能 石英玻璃管是用二氧化硅制造的[1]特种工业技术玻璃,是一种非常优良的基础材料。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能,如: 1、耐高温石英玻璃的软化点温度约1730℃,可在1100℃下长时间使用,短时间最高使用温度可达1450℃, 2、耐腐蚀除氢氟酸外,石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应,其耐酸能力是陶瓷的30倍,不锈钢的150倍,尤其是在高温下的化学稳定性,是其他任何工程材料都无法比拟的。 3、热稳定性好石英玻璃的热膨胀系数极小,能承受剧烈的温度变化,将石英玻璃加热至1100℃左右,放入常温水中也不会炸裂。 4、透光性能好石英玻璃在紫外线到红外线的整个光谱波段都有较好的透光性能,可见光透过率在93%以上,特别是在紫外光谱区,最大透过率可达80以上。 5、电绝缘性能好石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍,是极好的电绝缘材料,即使在高温下也具有良好的电性能。 石英玻璃由于具有上述优良的理化性能,因此被广泛的应用于电光源、半导体、光通信、军工、冶金、建材、化学、机械、电力、环保等各个领域。(资料仅供参考!) 石英管的种类石英管大致可分为以下几种:透明石英管(外径1.5mm--300mm)、滤紫外石英管、彩色石英管等。石英在这两个行业中主要用在:1、制备高纯石英坩埚,在多晶硅铸锭和单晶拉制的时候都要用到高纯石英坩埚,这是石英坩埚在光伏行业的最主要用途,切用量很大。 2、在多晶硅还原炉内需要用到高纯石英环。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
评论列表(0条)