介电常数是反映压电智能材料电介质在静电场作用下介电性质或极化性质的主要参数,通常用ε来表示。不同用途的压电元件对压电智能材料的介电常数要求不同。
当压电智能材料的形状、尺寸一定时,介电常数ε通过测量压电智能材料的固有电容CP来确定。
根据物质的介电常数可以判别高分子材料的极性大小。通常,相对介电常数大于3.6的物质为极性物质;相对介电常数在2.8~3.6范围内的物质为弱极性物质;相对介电常数小于2.8为非极性物质。
应用
近十年来,半导体工业界对低介电常数材料的研究日益增多,材料的种类也五花八门。然而这些低介电常数材料能够在集成电路生产工艺中应用的速度却远没有人们想象的那么快。
其主要原因是许多低介电常数材料并不能满足集成电路工艺应用的要求。图2是不同时期半导体工业界预计低介电常数材料在集成电路工艺中应用的前景预测。
硅的氧化物一般有两种SiO和SiO2SiO呈黑棕色至黄土色无定形粉末,白色立方晶体;熔点>1702°C,沸点1880°C,密度2.13克/立方厘米。溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸。不溶于水。在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太稳定,在空气中会氧化成二氧化硅。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化(见歧化反应)而成硅和二氧化硅。一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅。
SiO2又称硅石。在自然界分布很广,如石英、石英砂等。白色或无色,含铁量较高的是淡黄色。密度2.2 ~2.66,熔点1670℃(鳞石英)、1710℃(方石英),沸点2230℃,相对介电常数为3.9。不溶于水微溶于一般的酸,但溶于氢氟酸及热浓磷酸,能和熔融碱类起作用。用于制玻璃、水玻璃、陶器、搪瓷、耐火材料、硅铁、型砂、单质硅等。
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