1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

实验室设计规划规范与标准（国际） SICOLAB 1.ABSA 美国生物安全协会相关设计要求 2.ACGIH 美国政府工业卫生协会相关设计要求 3.AIA 美国建筑师协会相关设计要求 4.ANSI 美国标准协会相关设计要求 5.ASHRAE美国采暖，制冷与空调工程师学会相关设计要求 6.ASTN/I 美国材料实验协会相设计要求 7.NFPA 美国防火协会相关设计要求 8.N IH 美国全国卫生研究所相关设计要求 9.NIF~C 美国核控委员会相关设计要求 1 0．世界卫生组织(WTO)实验室生物安全手册 1 1．美国CDC/N IH微生物和生物医学实验室生物安全 12．美国建筑师协会生物医学研究实验室规划设计手册 实验室设计规范与标准（国内）SICOLAB 1.JGJ 91-93《科学实验建筑设计规范》 2．建标127-2009《疾病预防控制中心建设标准》 3.GB 5018 9-2005《公共建筑节能设计标准》 4.GB J16-8 7《建筑设计防火规范》 5.DB 5005.7-94《建筑防雷设计规范》 6.GB 50346-2004《实验室建筑技术规范》 7.GB 50019-2003《采暖通风与空气调节设计规范》 8.GB5 0073-2001《洁净厂房设计规范》 9.GB 50346-2004 《生物安全实验室建筑技术规范》 10.GB／19489-2004《实验室生物安全通用要求》 11.GB 1 49 2 5一一2 0 0 1《实验动物环境及设施》 12.SN/1193-2003《基因检验实验室技术要求》 13.GB IT14925-94《实验室防护基本标准》 14.GB 4972-84《放射卫生防护基本标准》 15.GB8 703-88《辐射防护规定》 16.GB 8978-1996《污水综合排放标准》 17.GB 16297-1996《大气污物物综合排放排放》

（1）.洁净厂房设计规范 GB50073-2001

（2）.医院洁净手术部建筑技术规范GB50333-2002

（3）.医药工业洁净厂房设计规范GB 50457-2008

（4）.传染病医院建筑设计规范

（5）.医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法GB/T16292-1996

（6）.QS认证质量手册

（7）.GMP药品生产质量管理规范 （1）ISO14644-1空气洁净度等级划分

（2）ISO14644-2 为认证ISO14644-1的 连续的相符性的测试和监测技术要求

（3）ISO14644-3 测试方法

（4）ISO14644-4 设计建造启动

（5）ISO14644-5 运行(Operations)

（6）ISO14644-6 术语和定义

（7）ISO14644-7 分离装置(洁净空气罩、手套箱、分离器和微循环设备

（8）ISO14644-8 分子污染

（9）ISO14644-9 洁净化学品（液体） 洁净空气：

RP-CC001高效与超高效过滤器

RP-CC002单向流装置

RP-CC006洁净室测试RP-CC007超高效过滤器测试

RP-CC008气体吸收装置

RP-CC016洁净室非挥发性残留物质的沉积率

RP-CC021高效与超高效过滤器过滤器介质测试

RP-CC034高效与超高效过滤器过滤器检漏

洁净室与洁净环境：

RP-CC006洁净室测试

RP-CC012洁净室设计要点

RP-CC016洁净室非挥发性残留物质的沉积率

RP-CC018洁净室管理运行与检测程序

RP-CC022洁净室与受控环境中的静电

RP-CC023洁净室中的微生物

RP-CC024微电子设备震动测量与说明

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特殊应用：

RP-CC029使用喷漆器要考虑的污染控制因素

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RP-CC020洁净室文件材料与格式

设备：

RP-CC002单向流装置

RP-CC013设备校准与检验程序

RP-CC015洁净室生产设备与辅助设备

RP-CC034高效与超高效过滤器过滤器检漏

术语：

RP-CC011污染控制领域术语和定义

文献：

RP-CC009污染控制领域的标准、准则、方法与相关文件概览

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