半导体cvd设备是什么

CVD设备是芯片制造薄膜沉积工艺的核心设备，全球市场主要由国外厂商垄断，国产替代需求强烈。”有行业内人士表示。招商证券也在研报中提出，薄膜沉积设备被海外AMAT、LAM、TEL、ASM等龙头垄断。同时，相较于清洗等其他设备，薄膜沉积市场空间更大，国内有望因此涌现出较大的成长空间。

机械手臂应用场景多在制造业，有重工业属性，如金属加工、抛光打磨、装配、机床上下料、码垛/搬运、橡胶/塑料、分拣等。

金属加工是对铜、铁、铝等原材料进行加工，成为物品、零件、组件。可代替人工完成锻造、轧制、拉制钢丝、冲击挤压、弯曲、剪切等多个工序。

抛光，机器人带动末端的气动打磨机，自动更换不同粒度砂纸，对工件进行粗磨、精磨、抛光。机器人自动卸除更换不同粒度砂纸，两个工位，一个用于打磨，一个一个用于装卸工件，打磨抛光作业始终在水基环境中进行。

装配，机械手臂装配这里一般指的是汽车装配，在自动化产线中，汽车装配被分割成一道道程序，工程师设定了各项程序，和工人们相配合，满足车门、车前盖、轮胎等部件的安装。

机床上料，主要针对生产上料难问题，像纺织机床，料物本身体型大且重，人工 *** 作势必要多人合作搬运，用机械手臂上下料，程序固定，动作固定，只需要上下料。

制造业或者快消行业由于供货量大，以及人力成本的极速上涨，为装箱流水线配备自动化码垛设备，能提高生产效率，降低生产成本。系统特点：系统安全、稳定，保证码垛速度，保证不损伤包装箱外观，保证精确位置稳固码垛。

橡胶/塑料

轮胎胎皮生产中，有许多下料工位，该工位劳动枯燥重复，而且具有一定的危险性。因此，希望能够设计计算机系统来代替人工来进行下料工作，以提高生产效率，一班工作制可以由机器人增加到两班到三班，从长期来看降低生产成本。

我国CVD设备国产化率也在不断提升，但整体来看仍较低，目前全球CVD设备市场仍由国外企业占据，我国CVD设备竞争力与海外知名企业相比仍具有一定的差距。数据显示，在全球CVD设备市场中，应用材料、泛林半导体和TEL三者合计占据了全球近70%的市场份额。

在未来发展中，国内企业需不断提高核心竞争力，加速技术研发，以实现国产化替代。从国内竞争情况来看，目前我国CVD设备的主要生产企业包括北方华创和沈阳荆拓，随着CVD设备相关技术的研发，这两家企业或将成为我国CVD设备国产化率大幅提升的主要动力源。

CVD技术是化学气相沉积Chemical Vapor Deposition的缩写。

化学气相沉积乃是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。?简单来说就是：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到基片表面上。?从气相中析出的固体的形态主要有下列几种：在固体表面上生成薄膜、晶须和晶粒，在气体中生成粒子。

CVD技术是原料气或蒸汽通过气相反应沉积出固态物质，因此把CVD技术用于无机合成和材料制备时具有以下特点：

（1）沉积反应如在气固界面上发生则沉积物将按照原有固态基底（又称衬底）的形状包覆一层薄膜。

（2）涂层的化学成分可以随气相组成的改变而改变从而获得梯度沉积物或得到混合镀层。

（3）采用某种基底材料，沉积物达到一定厚度以后又容易与基底分离，这样就可以得到各种特定形状的游离沉积物器具。

（4）在CVD技术中也可以沉积生成晶体或细粉状物质，或者使沉积反应发生在气相中而不是在基底表面上，这样得到的无机合成物质可以是很细的粉末，甚至是纳米尺度的微粒称为纳米超细粉末。

（5）CVD工艺是在较低压力和温度下进行的，不仅用来增密炭基材料，还可增强材料断裂强度和抗震性能是在较低压力和温度下进行的。

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