购买真空泵要根据自身财力以及实际情况进行选择,牌子不一一列述。真空泵选用的建议:
1.选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。
2.选用的主泵的极限真空度必须高于被抽容器要求的真空度。
3.选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的最大放气量。
4.选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。
5.对于连续生产的工艺,所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。
真空泵的注意事项
1、首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等;如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何,如果环境不允许有污染,可以选无油隔膜真空泵,或者把油蒸气排到室外。
3、真空设备或者零部件对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:化学隔膜泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,若要求不严格,可以选择有油泵,并且加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
4、如有多台大型水环式真空泵同时工作,循环液应该进行冷却,否则影响真空度,冷却装置可以配备冷却塔,同时须配增压泵对管路加压。
5、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若环境不允许,应选择无振动的泵或者采取减震措施。
真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵,称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下:
一、变容真空泵
它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。
1、往复式真空泵
利用泵腔内活塞往复运动,将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。
2、旋转式真空泵
利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类:
1)油封式真空泵 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙,减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时,把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油,所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。
3)干式真空泵 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体,因此,适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
二、动量传输泵
它依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式:
1、分子真空泵
它是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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根据我多年做真空泵的经验:1、不能笼统地区说什么牌子的真空泵最好,要看你是运用在那个工艺上面;2、除此之外,还要看你选择的真空泵类型,比如:液环式真空泵、旋片式真空泵、螺杆式真空泵、有油的还是无油的等等;3、你对真空泵的性能要求,如:吸气速率、极限真空度,安装方式等等;4、你能承受的真空泵投入金额;5、你的特别需求。当然了,单纯的说那个品牌的真空泵好的话,本人的观点还是德国人的产品是最好的,品牌如:SIHI(希赫)、NASH(西门子)、PUSCH(普旭)、BECKER(贝克)、rietschle(里奇乐)等,质量上乘,性能稳定,寿命长、功耗低等优点
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