1、针对晶圆表面缺陷自动检测技术进行了研究,并结合项目研究的晶圆特点,在高速高精度检测系统中,快速准确地检测出晶圆表面缺陷检,设计了基于深度学习的视觉缺陷检测算法。
2、自动检测技术在半导体行业中,晶圆表面缺陷检测设备可以使用电子束检测设备和光学检测设备。
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欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
1、针对晶圆表面缺陷自动检测技术进行了研究,并结合项目研究的晶圆特点,在高速高精度检测系统中,快速准确地检测出晶圆表面缺陷检,设计了基于深度学习的视觉缺陷检测算法。
2、自动检测技术在半导体行业中,晶圆表面缺陷检测设备可以使用电子束检测设备和光学检测设备。
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