真空镀膜机的详细结构

高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。 机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、d片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片d片，两d片中间装有d簧，保证了d片紧紧贴在定子的内壁。 它的两个d片交替起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。 机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。 抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算： Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n。 机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线下0.5厘米即可。 增压泵又叫罗茨泵：它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵，由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同，所以又可以叫罗茨真空泵，此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度，它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点，此泵不能从大气开始工作，也不能直接排出大气，它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差，其余的则需要机械泵来完成，因此，它必须配以机械泵作为前级泵。机械泵在使用过程中，必须注意以下问题： 1、机械泵要安装在清洁干燥的地方。 2、泵本身要保持清洁干燥，泵内的油具有密封和润滑作用，因此要按照规定量添加。 3、要定期更换泵油，更换的时候要先排出以前的废油，周期为至少三个月至半年更换一次。 4、要按照说明书接好电线。 5、机械泵停止工作前要先关闭进气阀门，再停电并开放气阀，将大气通过进气口放入泵中。 6、泵在工作期间，油温不可以超过75摄氏度，否则会由于油的黏度过小而导致密封不严。 7、要不定期检点机械泵的皮带松紧度、电机的转速，罗茨泵电机的转速，和密封圈的密封效果。 油扩散泵：机械泵的极限真空只有10-2帕，当达到10-1帕的时候，实际抽速只有理论的1/10，如果要获得高真空的话，必须采用油扩散泵。 由于油扩散泵是最早用来获得高真空的泵，其由于造价便宜，维护方便，使用广泛，所以本文将重点讨论。 油扩散泵的应用压强范围是10-1帕-10-7帕，它是利用气体的扩散现象来排气的，它具有结构简单， *** 作方便，抽速大（最高可以达到10+5升/秒）等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成，里面主要添加扩散泵油（日本的型号是D-704#），根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。 扩散泵底部内储存有扩散泵油，上部为进气口，右侧旁下部为出气口，在工作时出气口由机械泵提供前置压强，机械泵充当前置泵。 当扩散泵的油被电炉加热时，产生的油蒸汽提供前置压强，机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时，产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽可喷出一段距离，构成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁，凝结为液体，流回蒸发器，即靠油的蒸发——喷射——凝结，重复循环来实现抽气的。 由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸汽流中，便获得向下运动的动量，向下飞去，由于射流具有高的流速（约200米/秒），高的蒸汽密度，且扩散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的带走气体分子，因此在射流的界面内，气体分子不可能长期滞留，且在射流界面的两边，被抽气体有很大的浓度差，正是因为这个浓度差被抽气体能不断的越过界面，扩散进入射流中，被带往出口处，在出口处再由机械泵抽走。 扩散泵的油蒸汽压是决定泵的极限真空的重要因素，因此尽量选用饱和蒸汽压低的泵油，其化学特性要好。 扩散泵不能单独用来抽气，一般要求泵的最大出口压强为40帕。扩散泵的抽速决定于第一级喷嘴与泵体进气口口径间环形面积的大小，抽速不是一恒定的值，而是随着进气口的压强而变化的，当压强在10-2～10-3帕的时候，扩散泵的抽气速度是最快的，当压强小于5*10-4帕之后，扩散泵的抽气速度最小，几乎没有抽气能力（此时，进气口的压强较高，由于空气的密度较大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻挡空气的反扩散，所以抽速下降）。 扩散泵在安装前要清洗，之后才可以装入扩散油，油在加热前，必须要先对泵抽真空，停机前要先将扩散泵油冷却到60～70摄氏度，才可以关闭前级抽气，最后关冷却水。 由于油扩散泵是无法杜绝有返油的几率，那么没有办法保证精密产品的100％纯净，特别是半导体行业，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空机械泵”所组成的无油真空系统，冷凝泵组成的排气系统不仅排气效率极高，而且有效保证真空腔的清洁，保证产品的质量（避免产品被污染、增强膜层与基板之间的附着力），但是其维护成本非常的高，造价昂贵，所以普及率没有油扩散泵广泛。 本人在工作过程中，有幸使用到采用冷凝泵组成的排气系统，故在此解释。 低温冷凝泵：它是利用低温表面来凝聚气体分子以实现抽气的一种泵，是目前获得极限真空最高，抽速最大的抽气泵。 冷凝泵的工作原理：主要是低温表面对气体的冷凝作用、冷捕作用及物理低温吸附作用。 低温冷凝：根据各种气体的特性，采用液氦或者制冷循环氦气来冷却。 冷捕集：就是不可凝气体被可凝气体捕集的现象，通常二氧化碳、水蒸气、氮气、压气等气体首先形成霜，于低温表面形成吸附层，进而达到吸附其它气体的目的，低温泵抽除混合气体的效果比抽除单一效果好就是这个原因。 低温吸附：指低温表面上的吸附剂吸附气体的作用，由于吸附剂与气体分子之间的相互作用很强，故可达到气相压强比冷凝表面温度下它的饱和蒸汽压还低的水平。吸附剂通常是活性炭。 冷凝泵的抽气速率及影响 冷凝泵的抽气速率与冷凝表面的面积大小有关系，经数据显示，单位冷凝表面积下的抽气速率为11.6升/秒.平方厘米，冷凝泵可以抽到10-8帕；此外粘有活性炭的吸附表面的几何形状及位置、活性炭的颗粒结构、粘结材料及粘接工艺，对抽速也有很大的影响。其次关键在于制冷机的制冷量要足够大。 真空计：真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空计根据其工作原理可以分为绝对真空计和相对真空计，绝对真空计可以直接测量压强的高低，相对真空计只能间接测量真空度。 本论文重点介绍镀膜机器上面常用到的以下几个真空计： 电阻真空计（又叫皮喇尼真空计）： 它主要由电热丝、外壳和支架构成，主要是根据在低压下，气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接，热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成，两支支架引线与测量线路连接。当压强降低的时候，由于气体热传导散失的热量减小，因此当热丝加热电流稳定时候，则热丝温度就上升，热丝的电阻就增大，用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强，有以下关系： 略 这就是电阻真空计的工作原理，此真空计的测量范围是：100-10-1帕之间，目前采用的型号是WP-02 磁控放电真空计： 工作原理：在放电开始时，由于空间游离电子向阳极运动时，在正交电磁场作用下，电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进，又因为阳极是框形，故电子不一定第一次就碰上阳极，而是穿过阳极，然后受到对面阴极的拒斥，又复返回。这样反复多次才可能打上阳极。由于电子路程大大加长，故碰撞及电离的分子数增加，使得在较低压强（10-4帕以下）仍维持放电（也称潘宁放电）。目前比较多的型号有PKR251、GI-PARY 放电管真空计：在玻璃管中封入两个金属电极，在其上加上数千伏的直流高电压，在一定的压强范围内（1*10-3～2*10托）内就能引起自持放电，通过放电颜色来判定其真空度 目前为止此种真空计已经很少使用，因为其误差大，容易损坏，而且寿命不长。 三、蒸发系统 蒸发系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置很多，有电阻加热、电子q蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等多种方式，鄙人就电阻加热和电子q蒸发两种方式作介绍，因为此两种方式我应用的比较多。 电阻蒸发根据其结构和工作原理是目前为止应用最多，最广泛的蒸发方式，也是应用时间最长的蒸发方式。它的工作方式是，将钨片做成船状，然后安装在两个电极中间，在钨舟中央加上药材，再缓缓给电极通电，电流通过钨舟，钨舟通电发热，这些低电压，大电流使高熔点的钨舟产生热量，再热传导给镀膜材料，当钨舟的热量高于镀膜材料熔点的时候，材料就升华或者蒸发了，此方法由于 *** 作方便，结构简单，成本低廉，故被很多设备应用，但是其蒸发出来的薄膜由于致密性不佳，加上很多材料无法采用这种方式蒸镀，所以其有一定局限性。钨舟蒸发镀膜材料的时候，材料的熔点必须小于钨舟的熔点，否则就没有办法进行。 电子q蒸发是到目前为止应用最多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会发热，到最后会发射电子，再采用一定的磁场将其聚集成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后（有些材料是直接升华），药材的分子（原子或者离子）在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！最常用的有将电子束的偏转角制作成270度，、或者运行轨迹为e型的e行电子q或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子q两种。 电子束蒸发的最大优点在于：电子束的光斑可以随意调整，可以一q多用，灯丝可以隐藏，避免污染，可以蒸发任意镀膜材料，维修方便，蒸发速度可以随意控制，材料分解小，膜密度高。机械强度好。 溅射方式是用高速正离子轰击靶材表面，通过动能传输，令靶材的分子（原子）有足够的能量从靶材表面逸出，在产品表面凝聚形成薄膜。 用溅射的方法制镀的薄膜附着性强，薄膜的纯度高，可以同时溅射多种不同成分的材料，但是对靶材的要求高，不能象电子q一样节约资源。 目前运用最多的有磁控溅射，磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场，将电子约束在阴极靶材表面附近，提高电离效率。它是 *** 作最简单的一种，所以运用非常广。 四、成膜控制系统 薄膜监控目前应用方式比较多，主要有：目视监控法，定（极值）值监控、水晶振荡监控、时间监控等等。本人主要介绍目视监控、定（极值）监控和水晶振荡监控三种。 目视监控也叫直接监控，就是采用眼睛监控，因为薄膜在生长的过程中，由于干涉现象会有颜色变化，我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的，此种方式有一定的误差，所以不是很准确，需要依靠经验。 定值（极值）监控：主要是采用反射式（透过式）光学监控。极值监控法：当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化，当反射率或穿透率走到极值点的时候，就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长（入）的四分之一的整数倍。但是极值的方法误差比较大，因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。 定值监控法：此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位，然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率（或者穿透率）是多少，此即为停止镀膜点。 水晶振荡监控： 水晶振荡的工作原理是：利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。但是石英监控有一个不好之处就是当膜厚增加到一定厚度后，振动频率不全然由于石英本身的特性使厚度与频率之间有线性关系，此时必须使用新的石英振荡片。 几种监控方法各有优劣，但通常镀多层膜，会以光学监控为主，石英晶体振荡为辅助的方法。 除此之外，对于有些在镀膜过程中需要充入气体的还有流量控制计或者压力控制计，这些需要采用精密的阀门和光电传感系统来控制。 在镀膜过程中还需要回转控制系统，就是将伞具的主轴置于轴承里面，然后再利用电机带动轴承，使伞具回转。然后再PLC控制其回转速度。 坩埚回转采用电机带动，光电感应计数的方法，遮药板采用气动开关方式转动。 为了加快抽气速率，达到一定的真空度，还需要对真空腔进行制冷，就是将真空腔里面的空气冷冻到零下130摄氏度，将真空腔里面的水气冷冻并被泵抽走。 电气控制部分主要采用PLC自动控制，就是先在PLC中输入预先设计好的程序，处理器主电路与 *** 作面板上的各空驶系统相连接，当按下 *** 作面板上的开关的时候，信息传递到中央处理器，再由中央控制系统分析并发出指令由支路执行并完成动作。 镀膜机是集多门学科的设备，它集成了当今工业最先进的机电技术，控制技术、电气自动化、IT技术、制冷技术，微电路集成系统、高压控制系统、机械技术、加工技术、光电技术、光学技术、气动控制技术、光电传感技术、通讯技术、真空技术、薄膜光学与镀膜技术等等。 可以说镀膜机是新兴的产业代表。 到今天，镀膜机已经被广泛应用，制镀薄膜尤其广泛，其制作的各种薄膜被应用到各光电系统及光学仪器中，如数码相机、数码摄像机、望远镜、投影机、能量控制、光通讯、显示技术、干涉仪、人造卫星飞d、半导体激光、微机电系统、信息工业、激光的制作、各种滤光片、照明工业、传感器、建筑玻璃、汽车工业、装饰品、钱币、眼镜片等等，镀膜机器已经与人类的生活紧密联系。 一台进口镀膜机造价通常达到300～1000万人民币，国产设备目前的造价也在100万左右，进口设备已经完全自动化，整个生产过程都由计算机自动完成，其先进程度绝对优于世界上任何自动化作业模式，由于国内的真空技术起步较晚，加上技术有限，故到目前为止还采用人工 *** 作模式，有些厂商有借鉴进口设备的运作模式，可以达到半自动化作业模式，比如：成都的南光镀膜机器、广东的腾胜镀膜机、台湾的龙翩镀膜机、北仪真空、沈阳真空等在业界皆有名次。

第一名：布勒（中国）投资有限公司（莱宝）

每天，数以亿计的人们都在享用布勒技术，以满足自己在食品、移动设备或通讯方面的日常所需。布勒的加工技术和解决方案，在关注食品安全的同时，为供养世界人口做出了重大贡献。在全球小麦、玉米、大米、意大利面、巧克力和早餐谷物食品的生产和加工领域，布勒同样做了重大贡献。此外，布勒不仅可为高压铸造和表面涂层技术提供全球领先的解决方案，同时也关注着汽车以及光学技术领域的最新应用。作为技术领先的集团公司，布勒每年投入用于研发的经费是其营业额的5%。截至2017年，布勒业务遍布140多个国家和地区，全球11，000名员工贡献了27亿瑞士法郎销售额。作为一家家族企业，布勒非常重视可持续发展。我们希望客户取得成功。我们希望全人类都能享用安全食品。我们希望通过新能源汽车、节能建筑和节能机械来保护气候环境。

第二名：爱发科真空技术（苏州）有限公司（爱发科）

爱发科真空技术（苏州）有限公司是世界著名的真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在苏州工业园区设立，总投资10，350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供世界领先的先进设备。

公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、售后服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。

爱发科真空技术（苏州）有限公司今后仍将依托中国客户，除了继续在电子、半导体制造设备方面扩大设备种类和提高生产台数，更会从2012年开始，在世界上首次将大型平板液晶显示器(FPD)制造设备、太阳能电池制造设备引入到苏州进行生产。我们将继续致力于为客户提供满意的产品，以优异的品质及良好的售前售后服务，为用户创造价值，为中国高科技产业的发展以及经济社会的发展尽自己的绵薄之力。

第三名：勤友企业股份有限公司（勤友）

自1974年成立以来，勤友秉持着诚信与负责的信念，代理销售欧、美、日等国的精密工具、量测设备、光学仪器，非破坏性检测系统、半导体检测设备、液晶面板制造检查设备、及环保设备等，持续朝向提供客户更多元、完整的产品与服务的目标前进。

为因应日渐明确的市场趋势和客户需求，2013年投资成立半导体/光电制程设备，分割光电事业群旗下所属制造、研发等业务，除纳入原台南厂区，并增设含无尘室在内的桃园厂区。主要产品为大型连续式镀膜设备、卷绕式(Roll to Roll)镀膜设备，以及与IBM共同开发的晶圆暂时贴合及雷射剥离设备。其创新改良的研发成果，更于2014、2015年连续获得“杰出光电产品奖”的肯定。

勤友长年投入于制造、工业检测的产品应用，不仅累积量测技术的核心know how，所服务的客户亦遍及光电、塑化、汽车、航太、通讯、军事、教育等…领域，除掌握先进的制程技术，加强人员教育训练外，并持续开发新产品，以满足客户多样化的需求与服务，提升企业整体竞争力。

成立四十一年来，在受到原厂信赖、客户长久的支持下，除台北总公司外，于新竹、台中、台南、高雄、大陆苏州太仓、昆山等地设立服务据点，在严峻的产业环境下，希望协助客户快速处理问题，提供适当的解决方案，并深切期许能和客户共同成长、迎向未来新的挑战。

第四名：江门市新会亿霖金属制品有限公司（亿霖）

江门亿霖创立于1998年，专注于为厨卫行业提供精密铜制品零部件配套。

工厂位于“中国侨乡之都”—江门新会，拥有占地11亩的厂区及生活区，在职员工120多人，其中工程师8名，技术人员10多名。

工厂经历多年行业的累积与沉淀，不断发展整合，充分具备了铜锻造、机加、冲压、表面抛光、电镀、表面拉丝及PVD真空镀膜等加工及过程管控能力。工厂拥有小型加工中心、CNC精密数控车床30台、CNC精密车铣复合机10台、自动液压床10台及多弧离子真空镀膜机2台等设备和配备投影仪、膜厚测试仪等先进检测仪器以确保质量稳定。

我们根据不同的客户需求或市场要求订做生产，主要提供以下材质：低铅铜、无铅铜、欧标铜(CW614N，CW617N)、国标铜（Hpb59-1）、DR抗脱锌铜(CW603N)等。

亿霖公司始终坚持“以客户为中心，为客户创造价值！”的经营信念，以“成为世界国际大品牌卫浴的优秀配套厂商”的企业目标及发展方向！

公司不断地深化系统改善，以推进ISO9001：2000为依据不断提高品质管控体系！重合同﹑守信誉，竭诚欢迎国内外客户莅临指导，来电洽谈业务，我们将与您真诚合作，携手前行，共谋发展，共创美好明天！

第五名：纳峰真空镀膜（上海）有限公司（纳峰）

纳峰集团成立于1999年，是由新加坡南洋理工大学衍生发展起来的高新科技公司。纳峰主要产品是真空镀膜服务及真空镀膜设备。目前总部设在新加坡（NTI），在中国上海（NVC和NRET）和日本东京（NTJL）也设有分公司，目前全球员工约1200人。

由于纳峰科技具有世界先进的真空镀膜和真空设备制造技术，我们目前涉足的镀膜服务领域非常广泛，大到太阳能光伏技术、高科技数据存贮领域，小到刀具、模具、手机配件，以及其他电子消费品都可以通过我们的镀膜技术，无论在性能上或是外观方面，得到显著的改进，并实现生产成本的降低和产品质量的飞跃。

目前，一些纳峰镀膜产品也已经成功打入工业应用领域，成为业内工业指标。业内的认可是我们不断进取的动力，更是纳峰不断成长，拓展业务不可或缺的支持和动力

FCVA过滤阴极真空弧镀膜技术是纳峰集团的核心技术。此科技成功获得了许多与真空镀膜相关的世界专利。FCVA过滤阴极真空弧在工业界的应用首先开始与硬盘驱动器磁头的保护膜。到目前为止，纳峰在该产业已经占据了70%以上的市场份额。

纳峰要在PVD镀膜技术上成为市场的领导者。我们会成为客户在技术上的可靠合作伙伴。通过不断的研发和创新，纳峰帮助客户在和他们的竞争对手中脱颖而出。

第六名：大连维钛克科技股份有限公司（维钛克）

大连维钛克科技股份有限公司（维钛克股票代码：831729），股改于2014年5月，前身是成立于2003的大连远东真空技术有限公司，隶属于大连远东企业集团，专业从事各种真空离子镀膜设备的研发、制造与销售及镀膜服务的高新技术企业。公司拥有从真空腔室的制造到设备的安装调试完整的现代化数控加工设备和检测仪器，利用多项独有专利技术，确保设备各项性能的自主控制，提供全方位的镀膜交钥匙工程。

我公司生产的离子镀膜设备广泛应用于工业级工具、模具表面超硬离子涂层，替代电镀的高档装饰涂层，机械零部件（如汽车零部件，航空及燃气轮机等）的耐腐蚀和高强度涂层，led新节能发光体涂层，太阳光热发电集热管涂层及薄膜硅半导体光浮玻璃涂层等。我们研发中心和多所著名大学材料试验室建立稳固的合作关系，为设备和工艺的不断改进提供了有力的保障。尤其在硬质高强度耐磨性膜系和超厚（可达到50-80微米）膜系方面，我们一直引领市场发展，不断更新技术，满足客户及市场需求。

第七名：上海沈菱冷冻设备有限公司（沈菱）

上海沈菱冷冻设备有限公司十多年来专业生产，销售，服务各类制冷，冷冻设备。以质量为根本，完善服务为基础，诚信敬业做人，长期致力于冷水机事业。工厂位于美丽的昆山市，环靠上海，苏州，立足于根，稳步进取！

公司产品分为水冷式，风冷式精密冷水机，冷水机组，低温冷水机，非标冷水机等十多个品种，产品使用于全国各地众多企业，并得到客户的高度认可。

公司具有较强的设计研发能力，拥有专业有素的员工团队，具备齐全的生产设施，全面有效的质量控制体系，先进的生产制造工艺水平和能力，充分满足市场的不同需求。公司产品广泛应用于真空，激光，电子，塑胶，医药，奶制品，电镀，光伏，SMT制造，中高频淬火机床，热处理与焊接，医疗机械等行业。

第八名：东莞市华晨真空科技有限公司 （华晨）

东莞市华晨真空科技有限公司是一家面向全球专业真空金属镀膜（PVD)加工，高级金属表面处理服务的标准化生产加工企业。

工厂设在中国东莞大岭山镇颜屋村第一工业区，紧邻107国道和龙大高速，现有生产厂房10000多平方米，技术引用的是当今世界最先进的中频孪生磁控溅射离子镀膜技术以及电弧蒸发技术。

产品性能保证方面配有盐雾测试机、耐磨测试仪、标准对色箱、X射线测厚仪、数码显微镜、AA光谱分析机、金属膜厚仪等齐全的检测设备为产品提供全方位可靠性能检测。

成立以来，公司一直以：“本分经营，品质为先”的经营理念，以快速高效的服务赢得市场和客户认可。在客户服务中，我公司以市场为前沿向导，以高品质产品为核心竞争，以本分诚信为理念，深得客户信任，现已与国内外众多知名公司建立合作伙伴关系并提供高品质的真空镀膜服务。

我公司规模不断扩大，在今后发展中继续为客户创造价值，逐步完善以“高速度优质的售前、售后服务”“一流的技术工艺”“高品质产品输出”三体合一的方位为客户服务，将华晨真空打造成行业最优秀的真空表面处理企业。

第九名：昆山英利悦电子有限公司（英利悦）

昆山英利悦电子有限公司成立于2012年12月份，是一家独资企业，位于百强县级市之首昆山市，地处苏州及上海交界处，交通便利、环境优美。公司生产面积约4000平方米，采用磁控离子溅射镀及多弧离子镀等先进绿色环保真空镀膜工艺主要致力于3C行业及五金件类的PVD真空镀膜，其可以在各种五金材料的工件（基体）上镀制出各种膜层，以达到不同的性能要求和外观效果；目前拥有7台具备先进工艺配置的真空镀膜设备，主要从事电子产品、医疗器件、汽车配件、运动器材等五金产品表面PVD加工服务，膜层以装饰镀和功能膜（DLC)为主；加上与其相配套的喷砂、镭雕、激光焊接、研磨抛光等生产设备，使生产能力不断得到提升并提供优质的产品。

管理团队是由能力出众、年富力强、技术出色的专业人士组成，具有15年以上的相关镀膜行业从业经历；拥有全面的管理、销售、市场开拓经验并深知材料和镀膜加工行业，技术力量雄厚；公司在车间设计时就选择高于同行的标准无尘车间，打造华东一流的PVD镀膜车间。

公司经过这几年的发展，目前员工高峰时多达80人左右，现有技术人员9名，品管人员3名，管理人员5名；公司以品质要求高于一切、提供高品质的产品及优质的服务已赢得广大客户的青睐，目前客户除了国内遍布长三角地区及北京、天津外，国外客户主有美国、英国、澳洲等；公司现主要为:联想、HTC、华为、三星、OPPO、苹果、小米、谷歌、诺基亚及国外一些奢侈品等品牌上的相关配件提供镀膜加工服务。

第十名：深圳森丰真空镀膜有限公司（森丰）

深圳森丰真空镀膜有限公司创立于1998年，是一家面向全球的真空镀膜加工企业。公司镀膜加工业务涉及钟表、珠宝、手机、飞机零配件、工模具等领域，在装饰膜及功能膜的真空镀膜上有着成熟的工艺技术和丰富的生产经验。经过十多年的发展，森丰公司在生产规模和技术上均处于行业领先地位，2008年，公司被深圳市评为“高新技术企业”，在管理团队建设上，我们不断引进高学历、高水平人才，加强与名校合作，大专以上学历管理人员已占百分之九十以上。伴随着公司的发展壮大，一批懂得沟通、善于执行、乐于奉献、富有凝聚力与创造力的管理人员已然成长起来了。

在技术开发方面，以清华大学毕业博士生为骨干组建一支勇于开拓的研发团队，对镀膜设备和工艺不遗余力探索，并与著名同行企业如美国AE公司、香港生产力促进局及名牌高校如清华大学、北京大学等进行广泛交流。公司先后获得了2项国家发明专利和8项实用新型专利。

森丰目前在中国大陆有两大事业部(森丰钟表事业部和森科3C产品事业部)，总部设在深圳钟表产业集聚基地。公司在香港设有市场营业部，面向全球客户提供市场服务；本公司竭诚为广大客户提供优质、快捷的真空镀膜服务。我们一直秉承“正直、勤奋、感恩、进步”的企业精神，不断提升公司的技术能力和管理水平，致力于将森丰打造成全亚洲最具竞争力的真空镀膜加工企业。

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