mach angle 马赫角
mach cone 马赫锥
mach number 马赫数
mach wave 马赫波
mach zehnder interferometer 马赫 曾德耳干涉仪
mach's principle 马赫原理
machine language 机骑言
machine oriented language 面向机颇语言
macleod gage 麦克劳计
macro crystal 粗晶
macrography 宏观照相术
macroinstability 宏观不稳定性
macromolecule 高分子
macron 宏观粒子
macroparticle 宏观粒子
macrophysics 宏观物理学
macroscopic brownian motion 宏观布朗运动
macroscopic particle 宏观粒子
macroscopic quantization 宏观量子化
macroscopic system 宏观系统
macrostate 宏观态
macrostructure 宏观结构
macrosystem 宏观系统
magdeburg hemispheres 马德堡球
magellanic clouds 麦哲伦星系
magellanic galaxy 麦哲伦星系
magic eye 光党指示管
magic lantern 幻灯
magic number 幻数
magic t t 形波导支路
magma 岩浆
magneli structure 马格涅利结构
magnesium 镁
magnet 磁铁
magnetic 磁的
magnetic amplifier 磁放大器
magnetic analyzer 磁分析器
magnetic anisotropy 磁蛤异性
magnetic anomaly 磁异常
magnetic axis 磁轴
magnetic balance 磁力天平
magnetic birefringence 磁双折射
magnetic breakdown 磁哗
magnetic bubble 磁泡
magnetic bubble storage 磁泡存储器
magnetic character figure 磁特正
magnetic charge 磁荷
magnetic chart 磁图
magnetic circuit 磁路
magnetic conductance 磁导
magnetic core storage 磁芯存储器
magnetic current 磁流
magnetic declination 磁偏角
magnetic deflection 磁偏转
magnetic deflection mass spectrometer 磁偏转型质谱仪
magnetic dip 磁倾角
magnetic dipole 磁偶极子
magnetic dipole moment 磁偶极矩
magnetic dipole radiation 磁偶极辐射
magnetic disk 磁盘
magnetic disturbances 磁扰
magnetic domain 磁畴
magnetic domain walls 磁畴壁
magnetic drum 磁鼓
magnetic elements 磁元
magnetic energy 磁能
magnetic entropy 磁熵
magnetic equator 磁赤道
magnetic field 磁场
magnetic field energy 磁场能量
magnetic field intensity 磁场强度
magnetic field strength 磁场强度
magnetic fluid 磁铃
magnetic flux 磁通量
magnetic flux compression 磁通量紧缩
magnetic flux density 磁通密度
magnetic flux quantization 磁通量量子化
magnetic fluxmeter 磁通量计
magnetic focusing 磁致聚焦
magnetic force 磁力
magnetic head 磁头
magnetic hysteresis 磁滞
magnetic image 磁象
magnetic inclination 磁倾角
magnetic induction 磁感应
magnetic induction flux 磁感应束
magnetic kerr effect 克尔氏磁效应
magnetic latitude 磁纬度
magnetic leakage 磁漏
magnetic lens 磁透镜
magnetic line of force 磁力线
magnetic loss 磁损耗
magnetic map 磁图
magnetic material 磁性材料
magnetic memory 磁存储器
magnetic mirror 磁镜
magnetic moment 磁矩
magnetic monopole 磁单极子
magnetic needle 磁针
magnetic north 磁北
magnetic permeability 磁导率
magnetic perturbation 磁扰
magnetic point group 磁点群
magnetic polarization 磁极化
magnetic polaron 磁极化子
magnetic pole 磁极
magnetic potential 磁势
magnetic pressure 磁压
magnetic prism 磁棱镜
magnetic probe 磁探针
magnetic prospecting 磁法勘探
magnetic quantum number 磁量子数
magnetic recorder 磁记录器
magnetic recording 磁记录
magnetic refrigeration 磁冷却
magnetic refrigerator 磁致冷机
magnetic relaxation 磁弛豫
magnetic reluctance 磁阻
magnetic remanence 顽磁
magnetic resistance 磁阻
magnetic resonance 磁共振
magnetic reynolds number 磁雷诺数
magnetic rigidity 磁刚性
magnetic rotatory dispersion 磁致旋光色散
magnetic saturation 磁饱和
magnetic semiconductor 磁性半导体
magnetic separation 磁力选矿
magnetic shell 磁壳
magnetic shield 磁屏蔽
magnetic sound recording 磁录音
magnetic space group 磁空间群
magnetic spectrometer 磁谱仪
magnetic spin quantum number 自旋磁量子数
magnetic star 磁星
magnetic store 磁存储器
magnetic storm 磁暴
magnetic structure 磁结构
magnetic substance 磁体
magnetic superconductor 磁超导体
magnetic surface 磁面
magnetic susceptibility 磁化率
magnetic tape 磁带
magnetic thermometer 磁温度计
magnetic thin film 磁薄膜
magnetic torque 磁转矩
magnetic transition 磁跃迁
magnetic trap 磁阱
magnetic variable 磁变星
magnetic variable star 磁变星
magnetic variations 磁变
magnetic viscosity 磁粘滞性
magnetics 磁学
magnetism 磁
magnetization 磁化
magnetization curve 磁化曲线
magnetization vector 磁化矢量
magnetized black hole 磁化黑洞
magnetizing 磁化
magnetizing coil 磁化线圈
magnetizing current 磁化电流
magnetizing force 磁化力
magneto aerodynamics 磁空气动力学
magneto optic effect 磁光效应
magneto oscillatory absorption 磁振荡吸收
magneto rotation 磁致旋光
magneto volume effect 磁体积效应
magnetoacoustic effect 磁声效应
magnetoacoustic wave 磁声波
magnetocaloric effect 磁热效应
magnetochemistry 磁化学
magnetocircular dichroism 磁圆二向色性
magnetodielectric 磁性电介质
magnetodiode 磁敏二极管
magnetoelastic effect 磁d性效应
magnetoelastic wave 磁d性波
magnetoelectricity 磁电学
magnetogram 磁强记录图
magnetograph 磁强记录仪
magnetohydrodynamic instability 磁铃力学不稳定性
magnetohydrodynamic wave 磁铃波
magnetohydrodynamics 磁铃动力学
magnetology 磁学
magnetomechanical factor 磁力学因数
magnetomechanics 磁力学
magnetometer 磁强计
magnetomotive force 磁通势
magneton 磁子
magnetooptics 磁光学
magnetophotophoresis 磁光致泳动
magnetoplasma 磁等离子体
magnetoplasmadynamics 磁等离子体动力学
magnetoplumbite 氧化铅铁淦氧磁体
magnetopolaron 磁极化子
magnetoreflection 磁反射
magnetoresistance 磁阻效应
magnetoresistor 磁致电阻器
magnetosphere 磁层
magnetostatic field 静磁场
magnetostatics 静磁学
magnetostriction 磁致伸缩
magnetostriction oscillator 磁致伸缩振荡器
magnetostrictive effect 磁致伸缩效应
magnetothermal effect 磁致热效应
magnetothermoelectric effect 磁致热电效应
magnetron 磁控管
magnetron vacuum gage 磁控管真空计
magnification 放大率
magnifier 放大镜
magnifying glass 放大镜
magnitude 量
magnitude of the eclipse 食分
magnon 磁振子
magnus effect 马格努斯效应
main quantum number 挚子数
main sequence 烛
main sequence stars 烛星
main storage 宙储器
major planets 大行星
majorana force 马约喇纳力
majorana neutrino 马约喇纳中微子
majorana particle 马约喇纳粒子
majorana spinor 马约喇纳旋量
majority carrier 多数载劣
majoron 马约喇纳量子
maksutov telescope 马克苏托夫望远镜
malleability 展性
malter effect 马尔特效应
malus law 马吕斯定律
man made satellite 人造卫星
mandelstam representation 曼德尔斯坦表象
mandrin 细探针
manganese 锰
manganin 锰镍铜合金
manifold 廖
manipulator 机械手
manometer 压力表
manoscope 气体密度计
manoscopy 气体密度测定
manostat 稳压器
mantle 地幔
mantle convection 地幔对流
mantle rayleigh wave 地幔瑞利波
manual 手册
many body force 多体力
many body problem 多体问题
many body system 多体系
many wave approximation 多波近似
mare 海
margin 余量
margin of error 误差范围
margin of safety 安全因子
marginal rays 边缘光线
marine physics 海洋物理学
mariner project 马里纳计划
marisat system 海洋卫星系统
mark 标记
markoff chain 马尔柯夫链
markoff process 马尔柯夫过程
marriage of cable and satellites 电缆和人造卫星的联接
mars 火星
martensite 马氏体
maser 微波激射器脉塞
mass 质量
mass absorption coefficient 质量吸收系数
mass analysis 质量分析
mass analyzer 质谱仪
mass defect 质量筐
mass effect 聚集效应
mass energy conversion formula 质能换算公式
mass energy equivalence principle 质能相当性原理
mass energy relation 质能关系
mass filter 滤质器
mass flowmeter 质量量计
mass formula 质量公式
mass luminosity relation 质量发光度关系
mass number 质量数
mass renormalization 质量重正化
mass separator 质量分离器
mass shell 质壳
mass spectrograph 质谱仪
mass spectrometer 质谱仪
mass spectroscopy 质谱法
mass spectrum 质谱
mass stopping power 质量阻止本领
mass transfer 质量传递
mass unit 质量单位
massey criterion 梅涡据
master equation 纸程
master gyroscope 自由陀螺仪
matching 匹配
material 物质
material point 质点
material wave 物质波
materials science 材料科学
materials testing reactor 材料试验反应堆
mathematical crystallography 数学晶体学
mathematical expectation 数学期望值
mathematical pendulum 单摆
mathematical physics 数学物理
mathematical programming 数学规划
mathieu functions 马提厄函数
matrix mechanics 矩阵力学
matrix representation 矩阵表示
matter 物质
matter dominated universe 物质为诸宙
matter wave 德布罗意波
matthias rule 马赛厄斯定则
matthiessen rule 马苇定则
maupertuis' principle 莫佩尔秋原理
maximum deviation 最大偏差
maximum load 最大负载
maximum lyapunov index 最大李亚普诺夫指数
maximum permissible concentration 最大容许浓度
maximum permissible dose 最大容许剂量
maximum postulated accident 最大假设事故
maximum speed 最大速度
maximum stress 最大应力
maximum temperature 最高温度
maximum thermometer 最高温度表
maximum velocity 最大速度
maxwell 麦克斯韦
maxwell boltzmann distribution 麦克斯韦 玻耳兹曼分布
maxwell boltzmann statistics 麦克斯韦 玻耳兹曼统计
maxwell bridge 麦克斯韦电桥
maxwell demon 麦克斯韦妖
maxwell field 麦克斯韦场
maxwell relations 麦克斯韦关系
maxwell velocity distribution 麦克斯韦的速度分布
maxwell's distribution law 麦克斯韦分布律
maxwell's equations 麦克斯韦方程
maxwellian distribution 麦克斯韦分布
maxwellmeter 磁通计
mb 微巴
mean acceleration 平均加速度
mean deviation 平均偏差
mean ergodic theorem 平均脯历经定理
mean error 平均误差
mean free path 平均自由程
mean life 平均寿命
mean lifetime 平均寿命
mean solar day 平太阳日
mean solar time 平太阳时
mean square error 均方误差
mean sun 平太阳
mean value 平均值
mean velocity 平均速度
mean velosity 平场速度
measure 测度
measurement 测量
measurement error 测量误差
measuring 测量
measuring apparatus 测量仪器
measuring eyepiece 目镜测微计
measuring instrument 测试仪器度量仪表
measuring method 测量法
measuring technique 测量技术
mechanical energy 力学能
mechanical equivalent of heat 热功当量
mechanical filter 机械滤波器
mechanical monochromator 机械单色器
mechanical motion 力学运动
mechanical system 力学系
mechanical vibrations 机械振动
mechanical world view of nature 机械的自然观
mechanics 力学
mechanism 机构
mechanocaloric effect 机械热效应
mechanochemistry 机械化学
mechanoelectric conversion 机电变换
mechanostriction 机致伸缩
mechnical equivalent of light 光功当量
medical electronics 医疗电子学
medical physics 医用物理学
medium 介质
medium energy electron diffraction 中能电子衍射
medium energy electron scattering spectroscopy 中能电子散射能谱学
mega 兆
mega electron volt 兆电子伏
megacycle 兆周
megawatt 兆瓦
megger 高阻表
megohm 兆欧
meissner effect 迈斯纳效应
meldometer 熔点测定计
melt growth 熔体生长
melting 熔化
melting heat 熔化热
melting point 熔点
melting temperature 熔解温度
membrane 膜
memory 存储记忆
memory capacity 存储容量
memory cell 存储单元
memory effect 记忆效应
memory register 存储寄存器
mendeleev's periodic law 门捷列夫周期律
mendelevium 钔
meniscus 弯月面
meniscus lens 弯月透镜
mensa 山案座
mercury 水星水银
mercury arc lamp 水银灯
mercury arc rectifier 汞弧整流
mercury barometer 水银气压表
mercury cell 汞电池
mercury diffusion pump 汞扩散泵
mercury i chloride structure 氯化汞i型结构
mercury relay 水银继电器
mercury telemetry 水星遥测术
mercury thermometer 水银温度表
mercury vacuum gage 水银真空计
mercury vapor lamp 水银灯
meridian 子午线
meridian passage 中天
meridian transit 中天
meridional ray 子午光线
mesa transistor 台面型晶体管
mesoatom 介子原子
mesodynamics 介子动力学
mesomolecule 介子分子
mesomorphic state 介晶态
meson 介子
meson factory 介子工厂
meson theory 介子理论
meson theory of nuclear forces 核力的介子理论
mesonic atom 介子原子
mesonic molecule 介子分子
mesopic vision 黄昏黎糜觉
mesoscopic effect 介观效应
mesosphere 中间层
messier catalog 梅味星云星团表
metacenter 定倾中心
metal 金属
metal film resistor 金属薄膜电阻器
metal foil 金属箔
metal insulator semiconductor light emitting diod 金属绝缘膜半导体发光二极管
metal insulator transition 金属绝缘体跃迁
metal nonmetal transition 金属非金属跃迁
metal organic compound 有机金属化合物
metal oxide semiconductor structure mos 结构
metal vapor laser 金属蒸汽激光器
metallic 金属的
metallic binding 金属键
metallic bond 金属键
metallic crystal 金属晶体
metallic element 金属元素
metallic glass 金属玻璃
metallic lustre 金属光泽
metallic microcluster 金属微簇
metallic reflection 金属反射
metallic thin film 金属薄膜
metallic valence 金属原子价
metallized paper capacitor 镀金属纸介电容器
metallography 金相学
metallomicroscope 金相显微镜
metallurgy 冶金学
metamagnetism 亚磁性
metastability 亚稳定性
metastable atom 亚稳原子
metastable equilibrium 亚稳平衡
metastable level 亚稳能级
metastable molecule 亚稳分子
metastable nucleus 亚稳核
metastable phase 亚稳相
metastable state 亚稳状态
meteor 燎
meteor astronomy 燎天文学
meteor camera 燎照相机
meteor shower 燎雨
meteor stream 燎群
meteoric dust 燎尘
meteoric iron 陨铁
meteoric stone 石陨星
meteorite 陨星
meteorite crater 陨星坑
meteoritic iron 陨铁
meteoritics 陨石学
meteorological acoustics 气象声学
meteorological optics 气象光学
meteorological radar 气象雷达
meteorological satellite 气象卫星
meteorological thermodynamics 气象热力学
meteorology 气象学
meter 米
molectronics 分子电子学
molecular absorption coefficient 分子吸收系数
molecular acoustics 分子声学
molecular astronomy 分子天文学
molecular beam 分子束
molecular beam epitaxy 分子束外延
molecular beam magnetic resonance 分子束磁共振
molecular beam maser 分子束微波激射器
molecular beam scattering 分子束散射
molecular beam spectroscopy 分子束光谱学
molecular biology 分子生物学
molecular bond 分子键
molecular chaos 分子混沌态
molecular clock 分子钟
molecular cloud 分子云
molecular compound 分子化合物
molecular conductivity 分子导电率
molecular crystal 分子晶体
molecular diffusion 分子扩散
molecular dynamics 分子动力学
molecular electronics 分子电子学
molecular field 分子场
molecular field approximation 分子场近似
molecular flow 分子流
molecular force 分子力
molecular force field 分子力场
molecular gas laser 分子气体激光器
molecular heat 分子热
molecular image 分子图象
molecular integral 分子积分
molecular inversion 分子倒转
molecular ion 分子离子
molecular kinetic theory 分子运动论
molecular lattice 分子晶格
molecular magnet 分子磁铁
molecular mass 分子质量
molecular motion 分子运动
molecular orbital 分子轨函数
molecular physics 分子物理学
molecular polarizability 分子极化度
molecular polarization 分子极化
molecular pump 分子泵
molecular radius 分子半径
molecular rays 分子束
molecular reaction 分子反应
molecular refraction 分子折射
molecular rotation 分子转动
molecular scattering 分子散射
molecular science 分子科学
molecular sieve 分子筛
molecular spectrum 分子光谱
molecular structure 分子结构
molecular structure theory 分子结构论
molecular viscosity 分子粘性
molecular volume 克分子体积
molecular weight 分子量
molecule 分子
moletron 分子加速
molybdenum 钼
moment 矩
moment of inertia 转动惯量
moment of momentum 角动量
momentum 动量
本文来自: 恒星英语学习网(www.Hxen.com) 详细出处参考:http://www.hxen.com/word/sxwl/2009-02-02/67318.html
提起绝缘体金属相变低温,大家都知道,有人问金属材料与半导体,绝缘体材料的热容在极低温下有…,另外,还有人想问为什么有的导体在低温是可以超导,有的绝缘体在高温…,你知道这是怎么回事?其实关于固体物理的问题。谈谈金属绝缘体,半导体的物…,下面就一起来看看金属表面绝缘处理,希望能够帮助到大家!
绝缘体金属相变低温
金属表面绝缘处理的方法如下:
一、气相沉积层
气相沉积是近年来发展最快的一种新技术,它分物理气相沉积(PVD),和化学气相沉积
(CVD),最近又发展了复合的物理化学气相沉积(PCVD)。物理气相沉积是利用真空蒸发、离
子溅射、离子镀等方法沉积成膜;化学气相沉积则是利用镀层材料的挥发性气体分解
或化合的反应产物而沉积成膜;物理化学气相沉积即等离子体加化学气相沉积。采用这种方
以镀金属膜、合金膜、陶瓷膜或石膜等。
目前在、模具上用的最多的是沉积一层高硬度、高耐磨及抗腐蚀的TiC、TiN、Al↓2O↓3
或TiCN复合膜。这些镀层均很薄,实用厚度一般只有3~7μm。而在一般机器零件上可达10~
20μm。TiN的硬度为~,呈金;TiC的硬度为~,呈暗灰色;
Al↓2O↓3的硬度为,它们与基材之间均具有牢固的冶金结合。对于机械磨损(低速切削)
来说,抗磨顺序依次是TiC>TiCN>TiN>Al↓2O↓3,但对于热磨损(如高速切削)其抗磨顺序正
好相反。气相沉积不仅可以提高、模具、机件的使用寿命,而且还使产品优美的外
观色彩。
二、激光和电子束表面合金化层
激光和电子束作为热源用于材料表面改性,是从70年始的。由于它们具有能量密度
高、加热冷却速度快、热影响区小、零件改性效果好等高能速表面处理技术的一切优点,而
且又不需要在真空室内进行, *** 作比较灵活,故发展速度很快。激光和电子束表面改性技术
主要包括三种类型:即相化处理,熔凝处理和表面合金化与涂敷,本书着重介绍表面合
金化处理及其覆盖层。
激光和电子束表面合金化过程,实质上是一个表面冶金过程,即通过高密度能束与基材
关于固体物理的问题。谈谈金属绝缘体,半导体的物…表面涂层合金相互作用,使其发生物理冶金和化学变化,从而达到表面强化的目的。
目前用于钢件表面合金化的元素和碳很多,归纳起来有W、Cr、Ni、Mo、Co、Ti、
Si、B及WC、Cr↓3C↓2、TiC等,可根据工件表面所要求的性能来选择和确定。
钢件表面经合金化后,其状态按受热条件不同分为合金化区,热影响区(过热)和基
材三部分。合金化区一般呈铸态技晶状,在马氏体和残留奥氏体基体上分布各种共
晶碳相,起到强化作用。热影响区(包括扩散层)一般晶粒比较,有的含Ni、Cr成分
比较高的扩散层,残留奥氏体量多,马氏体亦不易显示,常呈一条白带处于合金化层底部。总
之,采用激光表面强化技术可以在更宽的范围内改化层的结构与性能。
三、热喷涂和喷焊层
热喷涂和喷焊技术作为一种新的表面防护、维修和强化方法在近20年中得到了飞速的发
展。所谓热喷涂就是利用某种热源(氧火焰、电弧、等离子弧等)将欲喷涂的材料加热,借
助气流把熔化或半熔化的雾状微粒通过喷嘴高速到预先经过处理的工件表面上,形成附
金属材料与半导体,绝缘体材料的热容在极低温下有…
着牢固的涂层。
热喷涂和喷焊技一系列优点:
(1)工艺简单,用氧火焰即可工作;
(2)选材范围广,喷涂材料可以任意配制,不受相图限制、可用钻基、镍基、铁基、铜
基自熔合金,也可用各种碳和氧陶瓷(WC、Cr↓3C↓2、TiC、Cr↓2O↓3、Al↓O↓3、TiO↓2等),或各种
高分子材料;
(3)实用性强,不仅可以用来维修、装饰产品,而且还可用来制造不同性能的产品零件
(如耐磨、耐蚀、耐热、抗振、隔热、密封、、绝缘、导电、辐射等),因而得到广泛的应用。
热喷涂和喷焊层的取决于选用材料的成分和喷涂工艺。以上述自熔合金为例,它们
均含有许多金属与非金属元素,如C、B、Si、Cr、Fe、Ni、Co、Cu、W、Mo、Mn等,所以
喷焊后其覆盖层的很复杂,相很多,形态各异,很难一一鉴别,只有采用彩色金相、电
子探针、能谱、X射线衍射等分析手段,进行综合分析后才能分辨清楚。
四、电镀层
电镀是金属防腐的重要手段。近年来通过不断的革新和,出现了许多新工艺和新方
法,如:特种电镀(包括非晶态电镀、非金属电镀、复合电镀、合金电镀、电刷镀);化学镀(镍-磷、
镍-硼);热渗镀(包括离子、气体、液体、固体渗镀)等。这些镀层的出现,使钢件表面抗腐蚀能
力明显提高,同时,还赋予钢件表面某种特殊功能(如提高耐磨性、导电性、磁性、高温抗氧化
性等等)
电镀过程一般来说,是一个电化学的氧化还原过程,即利用电解的方法使金属的
还原为金属,沉积在金属或非金属制品表面,形成一层而致密的金属覆盖层。由于电镀
层通常都是在低温下通过电沉积的方式形成的(热渗镀除外),所以它与基体金属之间没有扩
散关系,因此也没有扩散层,只有一条明显而平直的分界线,故结合力不如其他工艺好。金属表面渗层和覆盖层特点
金属表面渗层和覆盖层的具有组分特殊、合金相多、结构复杂、超细、层次多、
层薄等特点。
(1)组分特殊。表面处理(如激光合金化、热喷涂、离子注入等)可使零件表面整体材
料和一般热处理方法很难、甚至无法得到的超浓度、超饱和固溶体,而且还可各种合金
成分、陶瓷以及高分子材料层。
(2)合金相多。例如化学热处理可以向金属材料表面渗入多种合金元素,这些元素渗入
钢件后,又与其中的碳或合金元素化合,形成各种各样的固溶体和相。再如激光表面
合金化层和热喷焊层,它们都是用多种元素组成的合金粉末经过快速熔化和冷凝而成的,其
中的相组成非常复杂,一般都有3~4种以上,有的多达7~8种相。
(3)结构复杂。覆盖层在特殊条件下可微晶或非晶态结构,其中的晶体结构
亦多种多样,晶体形貌各异,有等轴晶,树枝晶、包状晶、柱状晶等等。
(4)超细。
以上就是与金属表面绝缘处理相关内容,是关于金属材料与半导体,绝缘体材料的热容在极低温下有…的分享。看完绝缘体金属相变低温后,希望这对大家有所帮助!
(1) 降低硬度,改善切削加工性.
(2)降低残余应力,稳定尺寸,减少变形与裂纹倾向;
(3)细化晶粒,调整组织,消除组织缺陷。
(4)均匀材料组织和成分,改善材料性能或为以后热处理做组织准备。
在生产中,退火工艺应用很广泛。根据工件要求退火的目的不同,退火的工艺规范有多种,常用的有完全退火、球化退火、和去应力退火等。
扩展资料:
退火技术:
1、半导体退火
半导体芯片在经过离子注入以后就需要退火。因为往半导体中注入杂质离子时,高能量的入射离子会与半导体晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子发生位移,结果造成大量的空位,将使得注入区中的原子排列混乱或者变成为非晶区。
所以在离子注入以后必须把半导体放在一定的温度下进行退火,以恢复晶体的结构和消除缺陷。同时,退火还有激活施主和受主杂质的功能,即把有些处于间隙位置的杂质原子通过退火而让它们进入替代位置。退火的温度一般为200~800C,比热扩散掺杂的温度要低得多。
2、蒸发电极金属退火
蒸发电极金属以后需要进行退火,使得半导体表面与金属能够形成合金,以接触良好(减小接触电阻)。这时的退火温度要选取得稍高于金属-半导体的共熔点(对于Si-Al合金,为570度)
参考资料来源:百度百科-退火
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