1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

专业做净化车间装修的公司,一般都会有专业的净化车间装修流程,今天我们来了解一下在做净化车间装修工程时,其流程是怎样的?

1、确认方案,报价最终签订合同

无论做线上还是线下的项目,都是从咨询开始,进一步到看现场,然后根据现场确定净化车间装修方案以及报价,方案和报价确认后,才签订合同。

2、安装隔断

隔断安装是基础,按照净化车间装修规划图,把轮廓全部都做起来,然后才能进行其他步骤。

3、净化车间装修天花吊顶

隔断安装完毕就是装修天花吊顶,净化车间的吊顶装修会比较复杂,比如空气过滤器,空调管道,技术夹层等等。

4、净化车间地面装修

吊顶装修完毕才轮到地面和墙壁,地面一般要做地坪漆,这里要考虑施工的季节气候,湿度变化,以及施工完毕多久才能进去等问题

5、净化车间空调和其他设备安装

一般是净化相关设备安装在前,然后其他大型设备一般在最后进行安装调试。

6、净化车间装修验收

最后就是验收了,检查隔墙材料是否完好,各项指标是否达标,温度湿度,洁净度,气流组织是否合理等等。全部达标即可签字验收,付款。

总之,净化车间装修流程大概就是这样的,但根据不同公司的习惯会有一些细节上的不一样,但整体上来讲基本是这样一个流程。

车间净化工程主要的组成部分有六大部分,分别为:地面系统、风管系统、自控系统、电气系统、给排水系统、空气过滤系统六大部分。

地面系统:一般采用环氧树脂洁净地面。 围护结构系统:简单说是顶、墙、地三部分,即组成三维密闭空间的六个面。往细的说包括门窗、装饰圆弧等;

风管系统:包括送风、回风、新风、排风管道、末端及控制装置等;空调系统:包括冷(热)水机组(包括水泵、冷却塔等)(或风冷管道机级等),管路、组合式净化空调箱(包括混流段、初效段、加热段、制冷段、除湿段、加压段、中效段、静压段等);

自控系统:包括温度控制、温度控制、风量风压控制、开启顺序和时间控制等;

电气系统:照明、动力、弱电三部分,包括净化灯具、插座、电气柜、线路、监控、电话等强弱电系统;

给排水系统:给水、排水管道、设施及控制装置等;

空气过滤系统:初中高效过滤器等其他净化设备:如臭氧、紫外线灯、风淋(包括货淋)、传递窗、超净工作台,互联锁等净化辅助设备。

净化车间工程可分为空气净化与水净化,空气净化是在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。

以上是对题主问题的解答,希望对你有帮助~有净化工程的问题有可以联系我们~


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