半导体沟槽宽度

半导体沟槽宽度,第1张

半导体沟槽宽度

半导体沟槽宽度可以从几种角度来考虑,如材料类型、应用、制造工艺等。

1. 材料类型:半导体沟槽的宽度取决于所使用的半导体材料,不同的材料具有不同的物理性质,因此沟槽的宽度也不同。例如,硅沟槽的宽度可以达到几十纳米,而碳纳米管沟槽的宽度可以达到几百纳米。

2. 应用:半导体沟槽的宽度也取决于其应用。例如,用于高频电路的沟槽宽度要比用于低频电路的沟槽宽度小。

3. 制造工艺:半导体沟槽的宽度也取决于制造工艺,例如用于制造沟槽的光刻工艺,其最小的沟槽宽度可以达到几百纳米。

我来回答一下,本人某电微电子科学与工程专业,有表述不当之处,望批评指正。影响半导体禁带宽度的因素主要有两种:温度与掺杂浓度。(以si、Ge、GaAs半导体为主)1、半导体禁带宽度具有负温度系数: 从原子到晶体,经过价键杂化(即:sp3杂化),一条原子能级一般对应多个能带。当温度升高时,晶体的原子间距增大,能带宽度虽然变窄,但禁带宽度却是减小的。(这里解释一下,虽然原子间距增大了,并且能带宽度变窄了,但是此时有多条能带,相对来说,禁带宽度是变小的);2、掺杂浓度升高时,由于杂质能级的出现,可能导致禁带宽度变窄:其实这一点从本质来解释是不太好理解的,我这里举个例子,再给出我个人的一些理解,希望可以帮助你理解这一点。例:在BJT中,发射区高掺杂会导致禁带宽度变窄。我个人理解是,有了杂质能级的加入,导电性增强,就像把禁带宽度一分为二,原先的阻碍减少了一部分,相当于禁带宽度变窄了。(纯属个人理解)


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