1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

各行业洁净车间装修施工要求

（1）在<电子工业洁净厂房设计规范〉GB50472中有关生产环境的要求的规定主要有：电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒和对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等参数要求。

（2）各种电子产品生产环境的空气洁净度等级应根据生产工艺要求确定。

（3）单向流和混合流洁净室（区）的噪声级（空态）不应在于65DB，非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于60DB

（4）药品生产有关工序和环境区域的空气洁净度等级，应符合国家现行（药品生产质量管理规范）

（5）医药洁净室的温度和湿度，应符合下列规定

生产式工艺对温度和湿度无特殊要求时，空气洁净度100、10000级的医药洁净室温度应为20-24度，相对湿度应为45%-60%空气洁净度100000级、300000级的医药洁净室温度为18-26度，相对湿度应为45%-65%。

生产工艺对温度和湿度有特殊要求时，应根据工艺要求确定。

人员净化及生活用室的温度，冬季应为16-20度，夏季应为26-30度。

1、净化装饰墙面及吊顶安装

根据设计要求，采用玻镁夹芯彩钢板隔墙、玻镁夹芯彩钢板吊顶。为保证房间不易积尘和易于清洁，墙角使用了 R50 的圆弧内角、圆弧外角、圆弧条等铝合金专用材料，要严格按设计要求选材、合理设置、精心安装

工艺流程：

按平面图中车间墙面布置在地面上划线定位－ 配地马槽 -放 U型地马槽用射钉将自攻罗丝固定在地面上 -装墙面饰材及拼接墙面饰材-在楼板上根据设计要求位置打膨胀螺丝 - 装吊杆 -在吊顶饰材上装吊钩 -在吊顶饰材上装吊钩-在吊顶饰材上用铆钉固定 U型地马槽－装吊顶饰材及拼接吊顶－ 装门框－开管线孔及高效送风口洞 装门－装圆弧内角、圆弧外角及圆弧条－清洁接缝－接缝处涂玻璃胶抹缝 －清洁房内侧墙面及吊顶

1． 施工材料要求

1.1 对工程所用的主要材料、成品、半成品是否符合设计规定，认真进行检验，有疵点材料一律不使用。

1.2 洁净室内不使用木质材料和其它不符合洁净标准要求的材料。 1.3 各种进场材料存放在有围护设施、清洁干燥的环境中，并平整地放臵在防潮膜上。

1.4 彩钢板与铝型材选用，首先对厂家进行实地考察，筛选。 1.5 彩钢板采用0.5mm厚宝钢卷材，二度漆膜，色标为统一乳白色，无明显色差。 1.6 洁净区隔墙所有阴阳角均采用圆弧铝合金件联结，隔墙与地面之间采用专用圆弧踢脚线，圆弧半径为R=50。

1.7 彩钢板表面挺括，折弯处呈直线，模板尺寸无误差，彩钢发泡板不允许有整体拱、陷现象。

1.8 所有门采用不锈钢纯化处理执手型门锁，锁芯距门沿大于65mm，凡可通往洁净区外的门锁有钥匙的锁芯外。 2. 施工具备的条件

2.1 洁净区域的彩钢板安装，在土建及装饰工程完成后才施工，室内的空间做到清洁，无积尘。

2.2 对地坪平整度要求较高，个别原地不平整的地方，报业主由地面施工单位处理。

2.3 吊顶内的管线、风管施工结束后，须经过试压及隐蔽验收后才进行彩钢板施工。

3． 施工步骤及方案 3.1 放样

按图先确定纵横轴基准线，并复核土建结构尺寸，有无与图不符。

按图样，确定各门窗位臵、距离、规格并标出门开启方向，每单间的尺寸偏差

不大于2‰。

水平管确定各轴线的标高，同时在柱上标明标高，务求精确定。

放样完毕，请甲方、监理及设计人员确认，确认后方可进行彩钢板施工。 3.2 地槽的安装

铝底座必须紧贴地面，与放样线误差不大小1.5mm。 铝座采用双面圆角。

底座每间隔l-1.2米，在座中间用钢钉与地面固定 并以垫片校正误差。 确保T型及转角处接合的长度尺寸，便于安装三维角件。

3.3 围护板安装，顶板安装 围护板与顶板安装平整，严密，缝隙控制在3mm宽度，以保证后续打胶质量，墙 角垂直交接，围护板垂直偏差不大于2‰。

围护板与顶板拼缝平整、严密，并在负荷后保持相对的平整，严格控制挠度≤L/240。

围护板与顶板收边。 围护板与顶板相连接。

顶板与顶板间的连接，采用T字型铝主梁，两顶板间的接合处设有加强筋。 顶板排板时考虑所有风口、灯具位臵，做到基本避开板缝，使钢板保证了强度。

吊顶板的吊筋直径为l0mm，吊筋的安装，用电锤钻孔后将φ10膨胀螺丝与之连接，吊筋的间距1-1.2m。

吊筋采用花兰调整螺丝，控制高低。 3.4 视窗、门、传递窗安装

采用铝材双压线槽铝，平玻璃安装视窗，。 双开门及视窗的制作。 单页门的拼装结构。 传递窗采用不锈钢材料。 3.5 开孔及风口、灯具安装

所有开孔位臵先确认与图吻合，并考虑风口，灯口距离保持对称美规。b. 用型材切割机，在放样位臵开孔，防止下偏差。

c. 所有正、长方形的开孔处，用铝材收边和加强筋收边。d. 风口、灯具安装时，保持四周平整、严密。

e. 各类管道、线管进入洁净区域，其密封处理严密可靠。 3.6 撕膜

撕膜前室内用吹风机、吸尘器反复多次吸，清扫后开始撕膜。 3.7 清洁

清理撕下的薄膜及一切多余物，再次严格清扫，交付验收至合格，才能打胶。 3.8 打胶

a. 每当一个区域彩钢板安装完成后，进行打胶密封工作，密封胶选用d性好、强度高、色彩与彩钢板基本一致的道康宁硅酮玻璃胶。

b. 打胶前，清理现场，清理施工余料，所需嵌填部位打密封胶的表面和间槽，风道里面必须严格清理干净，除去杂质、油污，确保粘贴密实。

c.打胶先打顶板上部，待上部拼缝完成后，进行下部及围护板与各角的打胶。 4. 工程进度和质量控制措施

4.1 按洁净厂房施工及验收规范 (GB50073一2001)。 4.2 严格确保上道工艺验收完毕后才进行彩钢板施工。

4.3 彩钢板施工进度按区域划分，从大到小，合理安排用材，完一个区域验收一个区域，施工到哪里，达不到质量要求及时返工。 4.4 人员安排采取互帮，互教，互学，技术高低搭配，工程交叉避免了误工现象。 4.5 工程控制，各作业区工作性质不同，安排任务根据实际情况来决定，每天完成工作量合理调整，使每个施工人员合情合理地按时交工。 4.6 工程所用材料具有合格证，并同图纸所有材料相符，碰到工程上具体情况作具体调整选材，以节约为原则。

4.7 各作业点划线、切割人员，相互配合复查，在同图纸要求尺寸相符下方可切割。

4.8 彩钢板进场，按要求堆放、搬运，防止变形、划痕、碰伤。

---