抛光液的主要产品可以按主要成分的不同分为以下几大类:金刚石抛光液(多晶金刚石抛光液、单晶金刚石抛光液和纳米金刚石抛光液)、氧化硅抛光液(即CMP抛光液)、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液和碳化硅抛光液等几类。
多晶金刚石抛光液
多晶金刚石抛光液以多晶金刚石微粉为主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同时不易对研磨材质产生划伤。
主要应用于蓝宝石衬底的研磨、LED芯片的背部减薄、光学晶体以及硬盘磁头等的研磨和抛光。
氧化硅抛光液
氧化硅抛光液(CMP抛光液)是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。
广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。
氧化铈抛光液
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。
适用于高精密光学仪器,光学镜头,微晶玻璃基板,晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。
氧化铝和碳化硅抛光液
是以超细氧化铝和碳化硅微粉为磨料的抛光液,主要成分是微米或亚微米级的磨料。
主要用于高精密光学仪器、硬盘基板、磁头、陶瓷、光纤连接器等方面的研磨和抛光。
肯定不能直接排放的哦,目前市面上的环保抛光液一般都属于弱酸性,并且含有一定量的氧化剂,抛光液在使用后,溶液中还会积累一定的铜离子,所以综上所述不能直接排放,排放前可以先将铜离子沉淀出来,然后再调整溶液的PH接近中性才能排放。如果溶液中含有三价铬或者六价铬那就更不能直接排放了。
铜材化学抛光液配方主要分为三种:
传统铬酸盐体系工艺,该工艺主要是利用六价铬的强氧化性来对铜材进行抛光的,由于其用到了有强致癌性的六价铬目前已经被禁止使用了。
传统的三酸体系工艺,该工艺主要是利用硝酸、硫酸、盐酸等无机酸配合来进行抛光的,由于其含有硝酸,在反应过程中会放出大量的黄烟(氮氧化物)有剧毒,会对 *** 作人员和环境造成严重污染,目前也已经被大面积限制或禁止使用了。
环保体系工艺,该系列最常用的有双氧水体系抛光液,该体系主要利用双氧水的强氧化性来对铜进行抛光处理,但是双氧水易分解导致其使用时有较大的制约性。
新型环保铜材酸洗抛光液,目前凯盟——美贝仕研究开发了一款型不含有毒重金属、不含硝酸及其盐、不含磷酸及其盐、不含双氧水的环保酸洗抛光液,已经推上市场使用取得了较好的市场效应。
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