1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

中山科瓦特坚守施工与验收规范标准，概括起来洁净室工程施工不外乎以下五个要求工：

一、洁净室工程对建筑围护结构进行装修时，应选用气密性较为良好，且在高温高湿状态下不易变形的材料。而其墙面内部，则应选择不可燃的附加构造骨架和保温层。

二、洁净室工程装修室内墙壁和顶棚表面，应符合平整、光滑、不起灰、便于除尘等各项要求，以尽量减少凹凸面，并将阴阳角做成圆角，还应采用高级抹灰标准。

三、洁净室工程在对地面进行装修时，应符合平整、耐磨、易除尘、好清洗、防静电等要求。洁净室和人员用室的外窗，应为双层玻璃金属结构，以保证其良好气密性。

四、洁净室工程在安装密闭门时应将其向着空气洁净度高的房间开启，其门窗、墙壁、顶棚、地面的构造和施工缝隙等处，均应加固有可靠的密封性保障措施。

五、洁净室工程在为洁净室粉刷涂料饰面时，其色彩应以淡雅柔和为最佳，以保证室内各表面材料的光反射系数在可控范围，顶棚和墙面宜为0.6--0.8，地面宜为0.15--0.35。

　我国建筑科学研究院主导参与编制的《洁净室施工及验收规范》，就对我国净化工程施工及验收有着明确的规定。

1、在净化工程建设之中，应始终贯彻国家有关方针政策以及统一施工验收要求，做到能源节约可行、 *** 作安全有依以及环境保护有利。

2、净化工程建设必须严格依照设计图纸进行施工，如果施工之中需要对设计进行修改时，必须要有设计单位的变更通知，而没有图纸和技术要求工程是不能施工与验收的。

3、净化工程施工之前，应制订详尽的施工方案与建设程序，施工中各工种之间必须密切配合，按照程序进行施工。先行施工的工种，不得妨碍后续的施工。

4、净化工程建设所用的主要材料、设备、成品以及半成品均应符合设计规定，具有出厂合格证亦或是质量鉴定证明文件。应对质量进行抽检，如发现过期材料不得使用。

5、净化工程之中，应在每道工序施工完毕后进行中间检验验收，并记录备案。

济南润德坚守施工与验收规范标准，成就一流的净化工程。

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