洁净实验室设计规范与标准有哪些?

洁净实验室设计规范与标准有哪些?,第1张

实验室设计规划规范与标准(国际) SICOLAB 1.ABSA 美国生物安全协会相关设计要求 2.ACGIH 美国政府工业卫生协会相关设计要求 3.AIA 美国建筑师协会相关设计要求 4.ANSI 美国标准协会相关设计要求 5.ASHRAE美国采暖,制冷与空调工程师学会相关设计要求 6.ASTN/I 美国材料实验协会相设计要求 7.NFPA 美国防火协会相关设计要求 8.N IH 美国全国卫生研究所相关设计要求 9.NIF~C 美国核控委员会相关设计要求 1 0.世界卫生组织(WTO)实验室生物安全手册 1 1.美国CDC/N IH微生物和生物医学实验室生物安全 12.美国建筑师协会生物医学研究实验室规划设计手册 实验室设计规范与标准(国内)SICOLAB 1.JGJ 91-93《科学实验建筑设计规范》 2.建标127-2009《疾病预防控制中心建设标准》 3.GB 5018 9-2005《公共建筑节能设计标准》 4.GB J16-8 7《建筑设计防火规范》 5.DB 5005.7-94《建筑防雷设计规范》 6.GB 50346-2004《实验室建筑技术规范》 7.GB 50019-2003《采暖通风与空气调节设计规范》 8.GB5 0073-2001《洁净厂房设计规范》 9.GB 50346-2004 《生物安全实验室建筑技术规范》 10.GB/19489-2004《实验室生物安全通用要求》 11.GB 1 49 2 5一一2 0 0 1《实验动物环境及设施》 12.SN/1193-2003《基因检验实验室技术要求》 13.GB IT14925-94《实验室防护基本标准》 14.GB 4972-84《放射卫生防护基本标准》 15.GB8 703-88《辐射防护规定》 16.GB 8978-1996《污水综合排放标准》 17.GB 16297-1996《大气污物物综合排放排放》

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗


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