半导体硅片工艺中有一个是 RCA cleaning 是什么意思?

RCA cleaning 就是采用RCA方法来清洗的意思。RCA是一种典型的、普遍使用的湿式化学清洗法，该清洗法主要包括以下几种清洗液： （1）SPM：H2SO4 /H2O2 120～150℃ SPM具有很高的氧化能力，可将金属氧化后溶于清洗液中，并能把有机物氧化生成CO 2和H2O。用SPM清洗硅片可去除硅片表面的重有机沾污和部分金属，但是当有机物沾污特别严重时会使有机物碳化而难以去除。 （2）HF(DHF)：HF(DHF) 20～25℃ DHF可以去除硅片表面的自然氧化膜，因此，附着在自然氧化膜上的金属将被溶解到清洗液中，同时DHF抑制了氧化膜的形成。因此可以很容易地去除硅片表面的Al，Fe，Zn，Ni等金属，DHF也可以去除附着在自然氧化膜上的金属氢氧化物。用DHF清洗时，在自然氧化膜被腐蚀掉时，硅片表面的硅几乎不被腐蚀。 （3）APM (SC-1）：NH4OH/H2O2 /H2O 30～80℃ 由于H2O2的作用，硅片表面有一层自然氧化膜(SiO2)，呈亲水性，硅片表面和粒子之间可被清洗液浸透。由于硅片表面的自然氧化层与硅片表面的Si被NH 4OH腐蚀，因此附着在硅片表面的颗粒便落入清洗液中，从而达到去除粒子的目的。在 NH4OH腐蚀硅片表面的同时，H2O 2又在氧化硅片表面形成新的氧化膜。 （4）HPM (SC-2)：HCl/H2O2/H2 O 65～85℃ 用于去除硅片表面的钠、铁、镁等金属沾污。在室温下HPM就能除去Fe和Zn。 清洗的一般思路是首先去除硅片表面的有机沾污，因为有机物会遮盖部分硅片表面，从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；然后溶解氧化膜，因为氧化层是“沾污陷阱”，也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。

让我们逐个翻译该句话中各个单词的意思。Washer fluid：清洗液     low：低   add：添加  。综合起来即为，您的风挡玻璃清洗液量较低，请添加风挡玻璃清洗液。因此如果您在您的车上看到以上英文句子，就意味着您车内的风挡玻璃清洗液量较低，需要您去添加风挡玻璃清洗液。

washer fluid only是需要加玻璃水，washer fluid only英文翻译意思是：洗涤液不足。

汽车玻璃清洗液又称玻璃水，一般在喷水的时候感觉喷的低了或者是没有水喷出来了，意味着汽车清洗液不足了。有些汽车的仪表盘出现标识，也同样意味着清洗液不足是时候添加清洗液了。

汽车清洗液属于汽车使用中的易耗品。汽车在灰尘较多的环境下以及在雨天跑高速路时，清洗液的消耗会非常快，最好是在平时做做定期检查最为保险，自己随车备好清洗液，以便在没有清洗液时候好随时加注。

扩展资料：

玻璃水的功能：

1、清洗性能：车窗净是由多种表面活性剂及添加剂复配而成。表面活性剂通常具有润湿、渗透、增溶等功能，从而起到清洗去污的作用。

2、防冻性能：有酒精、乙二醇的存在，能显著降低液体的冰点，从而起到防冻的作用，能很快溶解冰霜。

3、防雾性能：玻璃表面会形成一层单分子保护层。这层保护膜能防止形成雾滴，保证风挡玻璃清澈透明，视野清晰。

4、抗静电性能：用车窗净清洗后，吸附在玻璃表面的物质，能消除玻璃表面的电荷，抗静电性能。

5、润滑性能：车窗中含有乙二醇，粘度较大，可以起润滑作用，减少雨刷器与玻璃之间的摩擦，防止产生划痕。

6、防腐蚀性能：车窗净中含有多种缓蚀剂，对各种金属没有任何腐蚀作用，汽车面漆、橡胶、绝对安全。

参考资料来源：百度百科-玻璃水

---