1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

洁净室装修需要注意很多细节问题，无论从专修材料还是结构设计，再到室内色彩搭配等等，都需要谨慎对待。以下是洁净室在装修过程中需要格外注意的问题

1、洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。

2、洁净室内墙壁的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘，并应减少凹凸面。

3、踢脚不应突出墙面。

4、洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜干燥作业，抹灰应采用高级抹灰标准。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。

5、洁净室地面应平整，耐磨、易清洗，不易积聚静电，避免眩光，不开裂等。

6、当洁净室和人员净化用室设置外窗时，应采用双层玻璃固定窗，并应有良好的气密性。靠洁净室室内一侧窗不宜设窗台。洁净室窗宜与内墙面齐平，不宜设窗台。

7、洁净室内的色彩宜淡雅柔和。

洁净室的装修水平如何直接关系到洁净室的使用效率和使用寿命，在一定程度上也是衡量企业或者医院硬性水平的一个指标。

集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求，相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点，因而可以选择将前后区分开，前区为人员 *** 作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少，可以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。

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