集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间？

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备，如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器，那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况，实现产品生产与监督智造的智能体验。例如，当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时，我们可以及时通知相应车间的负责人，并采取针对性的措施降低颗粒浓度，以达到安全可靠的标准，这非常有利于产品的安全生产，为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备，不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，根据不同需要增加或减少控制终端，还可以实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境，推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工，他们是洁净工程领域的EPC集成服务商，在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

净化车间工程设计需要注意的问题：

净化车间规划首先要知道所规划的净化车间的用处、使用状况、出产技能特色等，比方规划的是集成电路产品使用无尘室，首先要弄清楚商品的特性－集成度、特形尺度和出产技能特色，洁净室的需求(空气洁净度等级、温湿度及其 *** 控规模、防微振、防静电和高纯物质的供给需求等，其非有必要充沛知道客户拟选用的出产技能、技能设备状况和对技能规划的想象.

(当时iwuchen在给深圳华星光电设计一个百级净化车间时，前期就进进出出现场好几次)

在此之后，设计人员应协同客户规划洁净厂房各功用区的区分，规划各类出产工序（房间）的空气洁净度等级和各种 *** 控参数－－温度、相对湿度、压差、微振荡、高纯物质的纯度及杂质含量，开始挑选洁净室的气流流型并进行净化空调体系的开始预算及规划方案的比照、断定，进行洁净厂房的平面安置、空间安置，此刻有必要首要组织好商品出产区与生出产辅佐区、动力公用设施区的合理规划，通常是适应商品的出产技能流和，在保证商品出产环境需求的状况下做到有利于商品出产的 *** 作，办理，有利于节约能源，下降出产成本。

在进行净化车间的平面规划时一定要按照国家的现行标准中有关安全出产、水域防、环保和工作清洁方面的各种需求，在进行洁净室平面规划时应充分考虑人流，物流的组织，极力做到短捷，流通，在空间规划时应充沛考虑商品出产过程和洁净室内各种管线，物流运送的合理组织，在区分洁净厂房的平面，空间安置后，对洁净室规划触及的各个专提出规划内容，技能需求中应注意的有关问题。

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