1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

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无尘车间通常应用于食品、电子、医药等行业,不同行业的无尘车间的要求是不同,我就只谈谈食品厂无尘车间的要求。

1、食品净化车间的建造涉及多个方面,包括工厂平面布置、环境参数、工艺设计、通风与净化空调、洁净室等级、电气、建筑、给水、排水等一系列。其中,建筑对食品净化车间满足食品生产安全卫生要求起关键作用。

2、食品厂房里净化车间的建筑设计除应该满足生产工艺需求外,还应满足不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮、防霉、易清洁的要求,并应符合防火、环保规定。

3、食品车间用房应便于安装空调净化设备、风管和风口,室内净高应满足生产工艺要求。

4、车间出口及与外界相连的排水、通风处装有防鼠、防蝇、防虫设施。

5、食品净化车间的建筑围护界区和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化的情况下基本不变形的材料。洁净车间内墙壁和顶棚的表面,应平整、光洁、无裂缝、接口严密。

6、食品净化车间内墙壁、天花板和门窗使用无毒、浅色、防水、防霉、不脱落、易于清洗的材料修建。墙角、地角、顶角应当具有弧度。

7、技术夹层为轻质吊顶时,应设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准,应与整个送回风系统相适应并易于除尘。

8、净化车间内的 *** 作台、传送带、运输车、工器具应当用无毒、耐腐蚀、不生锈、易清洗消毒、坚固的材料制作。

9、食品厂房净化车间的地面和墙面应使用非吸收性、不透水、易清洗消毒、不藏污纳垢的浅色材料铺设,表面应平坦光滑。管道、灯具、风口应采用易擦洗、消毒的产品,不应出现不易清洁的部位。


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