非接触式测厚仪器有哪些?

非接触式测厚仪器有哪些?,第1张

非接触式测厚仪有X射线测厚仪、Y射线测厚仪(主要有锯和钝两种)、超声波、红外线和激光测厚仪。前两种为放射线测厚仪,它们是根据一定能量的射线穿过钢板时,射线衰减强度与钢板厚度有一定关系的原理做成的。

射线由射线源发出后、一般由下而上经钢板吸收一部分,剩下的被检测器接受。当被测空间无钢板时,使用已知厚度的基准板校正。

主要类型:

用于测定材料本身厚度或材料表面覆盖层厚度的仪器。有些构件在制造和检修时必须测量其厚度,以便了解材料的厚薄规格,各点均匀度和材料腐蚀、磨损程度有时则要测定材料表面的覆盖层厚度,以保证产品质量和生产安全。根据测定原理的不同,常用测厚仪有超声、磁性、涡流、同位素等四种。

超声波测厚仪超声波在各种介质中的声速是不同的,但在同一介质中声速是一常数。超声波在介质中传播遇到第二种介质时会被反射,测量超声波脉冲从发射至接收的间隔时间,即可将这间隔时间换算成厚度。在电力工业中应用最广的就是这类测厚仪。

常用于测定锅炉锅筒、受热面管子、管道等的厚度,也用于校核工件结构尺寸等。这类测厚仪多是携带式的,体积与小型半导体收音机相近,厚度值的显示多是数字式的。对于钢材,最大测定厚度达2000 mm左右,精度在±0.01~±0.1 mm之间。

磁性测厚仪在测定各种导磁材料的磁阻时,测定值会因其表面非导磁覆盖层厚度的不同而发生变化。利用这种变化即可测知覆盖层厚度值。常用于测定铁磁金属表面上的喷铝层、塑料层、电镀层、磷化层、油漆层等的厚度。

厚度很薄的,一般在数十埃至几微米范围内的。为适应各种成分和结构的薄层的测厚要求,已研制成各种测量设备。比如真尚有的传感器zlds100。例如,采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透明薄膜;采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延层厚度、扩散层和离子注入层的深度;采用间接干涉法和台阶仪等测量金属膜和多晶硅的厚度等。


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