一般来说半导体制程中的
“热”包括:晶圆的拉晶用高温蒸镀电热管,切晶圆和功率晶粒,功能晶片的高温钻石刀,封装的高温制程有各种热导管和热熔炉,测试用的高温高压蒸馏炉箱。
“气”包括有各种氧气,氮气,酸性,碱性,活化气,钝化气,阻隔气体和促进气体。
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一般来说半导体制程中的
“热”包括:晶圆的拉晶用高温蒸镀电热管,切晶圆和功率晶粒,功能晶片的高温钻石刀,封装的高温制程有各种热导管和热熔炉,测试用的高温高压蒸馏炉箱。
“气”包括有各种氧气,氮气,酸性,碱性,活化气,钝化气,阻隔气体和促进气体。
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