stepheight对器件的影响

造成桥接(bridge)的缺陷。stepheight，导致后续金属互连层在研磨工艺形成导电焊垫的步骤中出现金属残留(residue)，造成桥接(bridge)的缺陷，对产品性能有着致命性的影响。桥接是PCBA加工中常见的缺陷之一，会引起元器件之间的短路，遇到桥接必须返修。

flow应该是流程的意思；

capability是能力，能量，容量，有performance的意思，或者是performance里面最重要的一环；

WPH是 wafer per hour，是每小时的出片量，是throughput的一个衡量指标，说白了就是产量；

MPS好像有很多同样的缩写，不好讲，有可能是“Mass Production Schedule”

STEP就是Flow里面的每一步骤了。

简单的很，进fab待几天就都知道了。

step height

梯段高度

台阶高度；阶梯高度；高度步幅

例句筛选

1.

Method of Heterodyne Confocal Microscopy Measuring Big Step Height

大台阶高度测量的外差共焦方法

2.

A Novel Apparatus to Measure the Step Height of the Mask by Means of Non-contact Method

一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪

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