半导体封装件的制作方法及半导体封装件。该半导体封装件的制作方法包括。在第一晶片上形成分离层;在所述分离层上形成帽;使用衬垫键合所述帽和第二晶片;将所述第一晶片和所述帽分离,形成包括所述帽、所述衬垫和所述第二晶片的半导体封装件;其中,所述第二晶片上具有谐振器,所述谐振器包括衬底和多层结构,在所述衬底和所述多层结构之间形成有腔体,所述腔体包括位于所述衬底上表面之下的下半腔体和超出所述衬底上表面并向所述多层结构突出的上半腔体,使用帽结构对第二晶片上具有特殊腔体结构的谐振器等器件或结构进行隔离和保护,从而制造出结构性能更稳定、更优越的半导体封装件。
半导体器件在封装之前是很脆弱的,很轻微的动作就可能造成损坏。所以器件的制作的最后一步就是封装,现在使用最多的是塑料封装和陶瓷封装。即用环氧树脂或陶瓷将芯片完全包裹。这样的器件回很坚固牢靠。
之后的成品就无所谓了,放到景点袋中,插到海绵上,只要不重击,都不会损坏。
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