1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。
2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。
3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。
4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。
对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗
半导体制造分不同等级,不同等级对电压有不同要求。半导体芯片基本分为商业级、工业级、车规级、军工级。最常见的是商业级就是手机类消费电子产品,通常电压都是里伏特。而像工业级、车规级电压会大很多,车规级几十伏特电压,军工级更复杂。在中国标准分类中,半导体芯片涉及到半导体分立器件综合、半导体发光器件、微电路综合、半导体二极管、微波、毫米波二、三极管、光通信设备、半导体集成电路、标准化、质量管理、电工仪器、仪表综合、元素半导体材料。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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