半导体中cvd pvdALD什么

cvd：Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积，众多薄膜沉积技术中的一种。pvd:（Vapor )，指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。ALD:原子层沉积。拓展由于低温沉积、薄膜纯度以及绝佳覆盖率等固有优点，ALD（原子层淀积）技术早从21世纪初即开始应用于半导体加工制造。DRAM电容的高k介电质沉积率先采用此技术，但近来ALD在其它半导体工艺领域也已发展出愈来愈广泛的应用。

CVD设备是芯片制造薄膜沉积工艺的核心设备，全球市场主要由国外厂商垄断，国产替代需求强烈。”有行业内人士表示。招商证券也在研报中提出，薄膜沉积设备被海外AMAT、LAM、TEL、ASM等龙头垄断。同时，相较于清洗等其他设备，薄膜沉积市场空间更大，国内有望因此涌现出较大的成长空间。

具体情况要具体分析。半导体厂一般会有有毒有害的物质，但不等于一定会有，也不等于每个设备都有。重点要看你所维修的设备是什么。一般的MOCVD是有毒的。另外，就是维修过程一定要注意自我防护，规定穿戴防毒面具的一定不要省略，一般应带橡胶手套。经验上处理腐蚀性物质时，带双层手套。至于辐射呢，一般没有电离辐射，电磁辐射多出现在有等离子体的设备上（比如磁控溅射，ICP刻蚀，PECVD等等）。最后说说我身边的经验。1、我们这有个学生，因为害怕有毒物质，坚决拒不遵守导师要求，拒不做实验。结果一年后，体检血砷含量，全实验室都没问题，就她自己砷超标。这个事情说明，接触砷等有害物质，并非仅仅通过正常的实验和工作。而正常的工作中严格防护也是非常安全的。2、我们这有的导师，经常维修MOCVD设备，接触有毒的管路，但他本人从不注意防护，这么多年过去了也没啥事儿啊。说明：设备带有有毒粉末并不可怕，粉末状的毒物如三氧化二砷，其危险性已经较低了（比起砷烷类气态化合物）。同时，砷烷等危险品是有气瓶保护的，外面还有毒气柜，还有一堆报警设备。这个要是泄漏了，第一时间跑就是了。反正报警的阈值非常低，报警后再跑来得及的……3、都说辐射如何有害，影响男性生殖。但是事实是本人维修使用磁控溅射多年了。现在也有了小孩。没啥事儿啊。同事中结婚的打算要孩子的都成功了……男性功能和这个关系不大，精子活性普遍降低的影响更大，和60年代DDT使用、环境污染，现在生活压力大等等的关系更大些。综上，工作中注意保护，严格遵守安全制度（别管它都么的麻烦，别人多麽的不遵守），就是安全的。出危险的概率比起回家途中被车撞死要低多了……祝你工作顺利愉快。

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