半导体器件中iso区是什么

半导体器件中iso区是浅沟道隔离。能实现高密度的隔离，深亚微米器件和DRAM等高密度存储电路。在器件制作之前进行，热预算小，STI技术工艺步骤类似LOCOS，依次生长SiO2淀积Si3N4涂敷光刻胶，光刻去掉场区的SiO2和Si3N4。利用离子刻蚀在场区形成浅的沟槽。进行场区注入，再用CVD淀积SiO2填充沟槽，用化学机械抛光技术去掉表面的氧化层，使硅片表面平整化。工艺复杂，要回刻或者CMP。

STI是英文 Subaru Teica International 的简称，成立于1988年4月。 STI隶属于 日本富士重工责任有限公司（Fuji Heavy Industries Ltd，简称FHI），其作用是负责支援斯巴鲁（Subaru）参与的全球汽车赛事。其中“世界汽车拉力赛（World Rally Championship，WRC）”更加是STI的主要舞台。斯巴鲁WRX的比赛专用发动机，全部由STI组装及调校，然后再运送到其英国的赛车总部SWRT。

基本介绍外文名 ：STI 全称 ：Subaru Teica International  成立时间 ：1988年4月 所属公司 ：日本富士重工责任有限公司 作用 ：支援斯巴鲁参与的全球汽车赛事 相关事件 ：“世界汽车拉力赛” 历代车型,公司,a *** 汇编中,微电子中, 历代车型 第一代Impreza的STI车型（1994年） 1994年也就是在Impreza上市一年多之后，第一代的WRX-STi版本终于在车迷们的期待之下隆重登场，并从当年9月开始以每月9百部的数量接单生产。第一代STi版WRX在外观上只有增加了大型后扰流翼与STi徽饰等少许变化。不过，在发动机及其他机械结构上则作了大幅的提升。 第二代Impreza的STI车型（1995年） 1995年8月，在众多车迷们的期待之下，第二代的WRX STi版本终于推出了。二代WRX STi在车型上共有房车与旅行车两种。房车车型与RA STi同样为275匹马力，旅行车型则在强调中低转速扭力之下出力为260匹马力。许多在RA STi上的配备如手动控制中差、快排等都同样被移植到二代WRX STi身上。 第三代Impreza的STI车型（1996年） 在1996年9月，Impreza进行了一次大幅度的小改款动作，全车系从WRX基本的入门车款都换装上新型发动机。新发动机通称为Boxer Master-4，虽然在形式上仍属于EJ系，不过在汽缸本体或是阀门设计上都是全新的设计。在经过这次的改良之下，WRX可说是已经到了完全成熟的境界了，新EJ20水平对置四缸DOHC涡轮发动机，最大马力为280hp/6500rpm，最大扭力为33.5kg-m/4000rpm，2.0升280匹马力的时代终于来临。 第四代Impreza的STI车型（1997年） 1997年1月，为了纪念Impreza获得1996年WRC冠军，特别推出了一款Type R STi版车型，这也是WRX首次出现双门车型。9月时，STi版第四代正式推出（包含该双门车型），在动力方面将扭力提升至36.0kg-m/4000rpm，四门RA与双门Type-R两车型则在后煞换上了对向二柱活塞卡钳，以提升制动力。 第五代Impreza的STI车型（1998年） 1998年10月，随着SUBARU原厂对Impreza现行车系进行最后一次的改良（非改款），STi版WRX也迈向第五代版本。五代WRX STi在动力方面换上了更换了新的发动机，新发动机不仅在动力输出数据上与原来相同，而且也改善了Impreza低速扭力不佳的弱点，同时也换上了高刚性的变速箱，以减少震动与噪音。 第六代Impreza的STI车型（1999年） 1999年11月，STi推出了现行Impreza WRX的最终STi版本—六代WRX STi。不过与前一代相较之下，变更的地方极为有限，包括追加前下巴以抑制车头扬升力、改变后扰流翼面形状以提升下压力、轮圈改为新设计之六幅式铝合金轮毂等。RA STi则换上了炮d造型的后照镜，以减少空气阻力。 第七代Impreza的STI车型（2000年） 日本斯巴鲁在2000年10月24日发表了新一代Impreza的高性能版车款，也就是第七代STi版Impreza与大家见面，为WRC世界拉力锦标赛作好铺路的工作与准备。 第八代Impreza的STI车型（2003年） 小改款的STI在2003年巴黎车展中与公众见面，由于之前推出的第二代车型众人褒贬不一的重点在于车头太过低调，斯巴鲁终于在推出两年时间后针对外型进行修饰。也因此，这次改款的重点，不需要特别陈述，明眼人一看就了解有何不同！ 第九代Impreza的STI车型（2005年） 2005年底，斯巴鲁发布了06款翼豹WRX-STI，其实就是通常所说的“猪头鼻”第9代翼豹STI，这次外形前围变化较大，引来了不少争议但是大多数车迷接受并且喜欢上了斯巴鲁家族的新进气格栅造型风格。另外，作为第一款正式引入国内销售的翼豹车型，第九代翼豹车型也赢得了国内消费者的喜爱与追捧。 第十代Impreza的STI车型（2007年）、 2007年年底新一代翼豹WRX STI终于正式和我们见面了！在性能和 *** 控方面，新款Impreza WRX STI以左右对称全时四轮驱动系统（Symmetrical AWD）与斯巴鲁水平对置发动机（SUBARU BOXER）相结合这一核心技术为基础，配备以斯巴鲁动态底盘控制概念（SDC3）设计而成新型底盘和带大型中冷器、双主动气门控制系统（Dual-AVCS）的新型2.5升16气门双顶置凸轮轴（DOHC）涡轮增压水平对置发动机，并融合SI-DRIVE（斯巴鲁智慧型驾驶提升系统）、多模式驾驶员控制中央差速器（Multi-mode DCCD）、多模式车辆动态控制系统（Multi-mode VDC）三项电子驾驶提升系统，使车辆的性能提升到前所未有的高度。 公司 SCIENTIFIC TECHNOLOGIES INCORPORATED(STI),美国科学技术有限公司（美国STI公司），总部位于美国加州的弗里蒙特市，从30年前制造第一个固态红外光电接进开关到现在，美国STI公司已经成为市场上领先的机器安全保护产品供应商，并以其优质的产品和服务享誉全世界。 欧姆龙公司已与2006年完成对SCIENTIFIC TECHNOLOGIES INCORPORATED(STI)的全额股票收购，收购价格9400万美元。交易条款在获得了美国证券交易委员会(SEC)的认可后，近日在STI股东特别大会上获得通过。欧姆龙是通过其全资子公司欧姆龙美国管理中心(OMRON MANAGEMENT CENTER OF AMERICA, INCORPORATED)来收购STI的股份的，收购后组成的新公司命名为欧姆龙科技公司(OSTI)。完成此次收购之后，欧姆龙成为总值约9.4亿美元的全球安全设备市场的龙头老大。 a *** 汇编中 表示将处理器标志暂存器的中断标志置1,允许中断 例如在c语言中内嵌汇编 语句 #define OS_EXIT_CRITICAL() a *** STI 这个宏定义表示允许中断 微电子中 shallow trench isolation 浅沟道隔离 特点： 能实现高密度的隔离，适合于深亚微米器件和DRAM等高密度存储电路。 一般在器件制作之前进行，热预算小。 STI技术工艺步骤：首先，类似LOCOS，依次生长SiO2淀积Si3N4涂敷光刻胶，光刻去掉场区的SiO2和Si3N4。其次，利用离子刻蚀在场区形成浅的沟槽。然后，进行场区注入，再用CVD淀积SiO2填充沟槽。最后，用化学机械抛光技术去掉表面的氧化层，使矽片表面平整化。 工艺复杂，需要回刻或者CMP

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