半导体镀膜工艺是什么

半导体镀膜工艺是什么,第1张

镀膜工艺一般是PVD和CVD。PVD:物理气相沉积。通过plasm轰击金属靶材(金靶,铜靶,Al,Cr.....),金属原子脱离靶材,落在wafer表明,形成薄膜。CVD:化学气相沉积。这个是通过化学反应,在晶圆表面张氧化薄膜。

是SOP,QFP,QFN上LEAD脚镀层厚度

不同的镀层厚度要求也不一样

问题问得太笼统,常规镀层是几个微米,封装上的凸点也有上百微米的

老大,是LF的镀银层,还是电流的镀银层。

电镀。上面写错了。

QFN 上PPF镀层较多吧, 具体金层5奈米左右, 钯几十奈米,镍1微米左右。

常用的镍银或镍金层一般1~3微米吧。镍层较厚, 要起阻挡层作用嘛。

另外镀的方法上有电镀和EN镀,镀层表面质量不一样。

分立半导体器件的电镀一般采用纯锡或锡基和金电镀,这几年由于欧洲RoHS指令生效,纯锡电镀较为流行。纯锡电镀有Wisker的问题,所以镀层厚度的最小值一般要求超过8微米,并配合150C回火。

不同的封装工艺,对镀层的要求不尽一样,所以我认为业界没有固定的标准。只要能做到满足可靠性就可以了.

200-600微英寸


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