半导体薄膜的衬底究竟起什么作用?

半导体薄膜的衬底究竟起什么作用?,第1张

主要是起支撑和改善薄膜特性的作用。薄膜生长在衬底上,衬底材料性质和衬底表面形状对薄膜的特性有很大的影响,因为薄膜一般厚度尺寸在纳米至微米之间,要求衬底表面有超高平整度;薄膜和衬底的结合也是一个非常重要的方面,如果两者晶格不匹配,则在薄膜形成初期阶段会形成一个较长的过渡区域。

1、薄膜的薄是很薄的意思,薄膜是一种薄而软的透明薄片。

2、薄膜是用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。聚酯薄膜科学上的解释为:由原子,分子或离子沉积在基片表面形成的2维材料。例:光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器,机械,印刷等行业。

薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。电子半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用。

3、薄膜的品种分类没有统一的规定。通常人们习惯的分类方式有以下三种:

⑴按薄膜成型所用原料分类:有聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜和聚酯薄膜等。

⑵按薄膜用途分类:有农用薄膜(这里根据农膜的具体用途,又可分为地膜和大棚膜);包装薄膜(包装膜按其具体用途,又可分为食品包装膜和各种工业制品用包装膜等)及用于特殊环境、具有特殊用途的透气薄膜,水溶薄膜及具有压电性能的薄膜等。

⑶按薄膜的成型方法分类:有挤出塑化、然后吹塑成型的薄膜,称为吹塑薄膜;经挤出塑化,然后熔融料从模具口流延成型的薄膜,称为流延薄膜;在压延机上由几根辊筒辗压塑化原料制成的薄膜,称为压延薄膜。


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